恭喜ICT半導體集成電路測試有限公司D·溫克勒獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ICT半導體集成電路測試有限公司申請的專利操作帶電粒子槍的方法、用于帶電粒子束裝置的帶電粒子槍和帶電粒子束裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115280458B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180011956.X，技術領域涉及：H01J37/073；該發明授權操作帶電粒子槍的方法、用于帶電粒子束裝置的帶電粒子槍和帶電粒子束裝置是由D·溫克勒設計研發完成，并于2021-01-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本操作帶電粒子槍的方法、用于帶電粒子束裝置的帶電粒子槍和帶電粒子束裝置在說明書摘要公布了：描述一種操作帶電粒子槍102的方法。所述方法包括：在所述帶電粒子槍內設置處于第一發射極電位的發射極122，并且在所述帶電粒子槍內設置處于第一電極電位的捕獲電極142，其中所述第一發射極電位和所述第一電極電位被設置以在所述發射極處且在所述捕獲電極處具有基本為零的電場；將所述捕獲電極從所述第一電極電位切換至與所述第一電極電位不同的第二電極電位，以在所述捕獲電極處生成靜電捕獲場；以及在將所述捕獲電極從所述第一電極電位切換至所述第二電極電位之后，開啟所述發射極處的靜電發射場。
本發明授權操作帶電粒子槍的方法、用于帶電粒子束裝置的帶電粒子槍和帶電粒子束裝置在權利要求書中公布了：1.一種操作帶電粒子槍102的方法，包括：在所述帶電粒子槍內設置處于第一發射極電位的發射極122，并且在所述帶電粒子槍102內設置處于第一電極電位的捕獲電極142，其中在所述發射極的尖端處提供所述第一發射極電位，其中所述第一發射極電位和所述第一電極電位被設置以在所述發射極處和在所述捕獲電極處具有基本為零的電場；施加電壓以將所述捕獲電極從所述第一電極電位切換至與所述第一電極電位不同的第二電極電位，以在所述捕獲電極處生成靜電捕獲場，在開啟所述發射極之前吸附污染粒子；以及在將所述捕獲電極從所述第一電極電位切換至所述第二電極電位之后，開啟所述發射極處的靜電發射場。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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