恭喜韋崔斯股份有限公司羅曼·弗朗茨·維澤爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜韋崔斯股份有限公司申請的專利真空夾持裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113826190B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080035033.3，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權真空夾持裝置是由羅曼·弗朗茨·維澤爾設計研發完成，并于2020-05-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本真空夾持裝置在說明書摘要公布了：一種真空夾持裝置，其用于夾緊工件，特別地用于夾緊諸如晶圓等平面基材，包括具有吸附表面的底板，其中在底板的吸附表面中設計有多個吸附開口，其中底板可通過至少一個抽吸管道，與至少一個負壓裝置相連，其特征在于，吸附開口被布置在底板的吸附表面的邊沿區域中。
本發明授權真空夾持裝置在權利要求書中公布了：1.一種真空夾持裝置，所述真空夾持裝置用于夾緊工件，所述工件是平面基材，所述真空夾持裝置包括具有吸附表面（4）的底板（3），其中在所述底板（3）的吸附表面（4）中設計有多個吸附開口（6），其中所述底板（3）能通過至少一個抽吸管道與至少一個負壓裝置相連，其特征在于，所述吸附開口（6）被布置在所述底板（3）的吸附表面（4）的邊沿區域中，并且所述真空夾持裝置具有被布置在所述底板（3）與待夾緊的所述工件之間的、透明的且設計為易彎曲的薄膜（14），所述薄膜在所述工件的邊沿范圍內具有吸附洞孔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人韋崔斯股份有限公司，其通訊地址為：捷克霍沃科維斯市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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