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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專利用于氣體輸送的模塊部件系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113994460B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080043581.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)用于氣體輸送的模塊部件系統(tǒng)是由約翰·福爾登·斯頓夫;達(dá)米安·隆;中島諾曼;卡爾·弗雷德里克·利瑟設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-04-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于氣體輸送的模塊部件系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：在一實(shí)施方案中，所公開的設(shè)備是用于氣體輸送箱中的至少一個(gè)氣體基元基板。所述至少一個(gè)氣體基元基板中的每一者具有至少一個(gè)位置，氣體輸送部件將安裝在所述至少一個(gè)位置上。所述至少一個(gè)位置具有形成于所述氣體基元基板的主體中的至少一個(gè)氣體輸送部件入口端口和氣體輸送部件出口端口。包含氣流路徑的至少一對(duì)第一鏜孔分別形成在所述氣體輸送部件的位置的上游側(cè)和下游側(cè)。公開了其他設(shè)備和系統(tǒng)。

本發(fā)明授權(quán)用于氣體輸送的模塊部件系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.用于氣體輸送箱中的至少一個(gè)氣體基元基板，所述至少一個(gè)氣體基元基板中的每一者包含：至少一個(gè)位置，氣體輸送部件將安裝在所述至少一個(gè)位置上，所述至少一個(gè)位置包含形成于所述氣體基元基板的主體中的至少一個(gè)氣體輸送部件入口端口和氣體輸送部件出口端口；以及包含氣流路徑的至少一對(duì)第一鏜孔，其分別形成在所述氣體輸送部件的位置的上游側(cè)和下游側(cè),其中所述至少一對(duì)第一鏜孔至少部分地布置在與其他鏜孔的橫剖面分離的橫剖面中，兩個(gè)橫剖面都布置在所述氣體基元基板的主體中。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。