買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜佳能特機株式會社申請的專利基板支架、基板處理裝置及成膜裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115874157B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211706317.8，技術領域涉及：C23C14/50；該發明授權基板支架、基板處理裝置及成膜裝置是由生長秀隆;熊木智洋;阿部大和;渡部新設計研發完成，并于2018-11-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板支架、基板處理裝置及成膜裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種能夠抑制基板的破損發生地保持基板的基板支架。基板支架30使基板2的被處理區域21a露出地保持基板2，其特征在于，具備：夾持部310、320，所述夾持部310、320與基板2的角部24不接觸地夾持基板2的兩面21、22；及觸抵部30，所述觸抵部30與基板2的角部不接觸地觸抵于基板2的端面23。

本發明授權基板支架、基板處理裝置及成膜裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板支架，所述基板支架保持基板，所述基板具有包括被處理區域的第一主面、與所述第一主面相反的一側的第二主面、以及連結所述第一主面和所述第二主面的端面，其特征在于，具備：第一框體，所述第一框體具有使所述被處理區域露出的開口；及第二框體，所述第二框體通過緊固機構緊固于所述第一框體，所述第一框體具有第一抵接部，所述第一抵接部與所述第一主面的所述被處理區域的外側的周緣區域抵接，是在所述第一框體中沿著與所述第二框體相向的相向方向突出的凸狀部，并在所述第一框體的與所述第二框體相向的相向部形成為環狀，所述第二框體具有第二抵接部和第三抵接部，所述第二抵接部與所述第二主面的對應于所述周緣區域的位置抵接，是在所述第二框體中沿著與所述第一框體相向的相向方向突出的凸狀部，并在所述第二框體的與所述第一框體相向的相向部形成為環狀，所述第三抵接部與所述端面抵接，所述第一抵接部、所述第二抵接部以及所述第三抵接部以所述第一主面和所述端面所成的第一角以及所述第二主面和所述端面所成的第二角分別從所述第一框體以及所述第二框體的任一個均分離的方式保持所述基板，所述第一抵接部在從所述第一角向內側離開的位置與所述第一主面抵接，所述第二抵接部在從所述第二角向內側離開的位置與所述第二主面抵接，所述第三抵接部在從所述第一角以及所述第二角分別向內側離開的位置與所述端面抵接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人佳能特機株式會社，其通訊地址為：日本新瀉縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。