恭喜應用材料公司H·桑達拉拉賈恩獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利化學機械拋光的溫度控制獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111512425B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980006568.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權化學機械拋光的溫度控制是由H·桑達拉拉賈恩;S-S·常;H·吳;J·唐;吳政勛;R·巴賈杰;A·錫爾迪亞設計研發完成，并于2019-06-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本化學機械拋光的溫度控制在說明書摘要公布了：一種化學機械拋光設備包括壓板、載體、分配器和溫度控制系統，壓板保持拋光墊，載體在拋光工藝期間保持基板抵靠拋光墊的拋光表面，分配器向拋光表面供應拋光液，溫度控制系統包含主體，所述主體經配置以接觸拋光表面或拋光表面上的拋光液。主體支撐定位在拋光墊上的熱控制模塊。
本發明授權化學機械拋光的溫度控制在權利要求書中公布了：1.一種化學機械拋光的設備，包括：壓板，所述壓板保持拋光墊，其中所述壓板可繞軸旋轉；載體，所述載體在拋光工藝期間保持基板抵靠所述拋光墊的拋光表面；以及供應口，所述供應口位于所述壓板上方以將拋光液供應到所述拋光墊的所述拋光表面；溫度控制系統，所述溫度控制系統包含多個熱控制模塊，所述多個熱控制模塊由溫度控制臂支撐并且位于所述拋光墊上方的多個不同的徑向位置，以加熱或冷卻所述拋光墊的多個區域，所述多個區域中的每一者在所述拋光墊上的不同環形區域內，并且其中所述多個熱控制模塊中的每個熱控制模塊經配置獨立地加熱或冷卻所述拋光墊的徑向區域，其中每個熱控制模塊包括分配器，所述分配器經配置以將氣體或液體輸送到所述拋光墊上并且在所述拋光墊的所述表面上的所述區域內的所述多個區域中的區域上，并且當所述壓板旋轉時每個區域都圓形地掃過所述拋光墊，并且其中離所述軸較遠的區域沿角度方向寬于更靠近所述軸的區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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