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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江大學(xué)昆山創(chuàng)新中心申請的專利一種多功能晶圓夾具獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN110943028B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：201911201145.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種多功能晶圓夾具是由孔劍;徐晨晨;欒亦雄設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-11-29向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種多功能晶圓夾具在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種多功能晶圓夾具，屬于芯片加工技術(shù)領(lǐng)域，包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接的第一盒體和第二盒體，所述第一盒體與第二盒體內(nèi)均設(shè)有存儲(chǔ)腔和安裝于所述存儲(chǔ)腔內(nèi)的一對晶圓夾鉤，所述晶圓夾鉤能夠從所述存儲(chǔ)腔中伸出，所述晶圓夾鉤包括方向能夠調(diào)節(jié)的鉤體。本發(fā)明能夠夾取豎直或水平放置的晶圓，便于存放不使用的晶圓夾鉤，方便攜帶，功能多樣。

本發(fā)明授權(quán)一種多功能晶圓夾具在權(quán)利要求書中公布了：1.一種多功能晶圓夾具，其特征在于，包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接的第一盒體和第二盒體，所述第一盒體和第二盒體間能夠形成的夾角范圍為60°-180°，所述第一盒體與第二盒體內(nèi)均設(shè)有存儲(chǔ)腔和安裝于所述存儲(chǔ)腔內(nèi)的一對晶圓夾鉤，所述晶圓夾鉤能夠從所述存儲(chǔ)腔中伸出，所述晶圓夾鉤包括方向能夠調(diào)節(jié)的鉤體；所述第一盒體和第二盒體通過鎖定組件實(shí)現(xiàn)相對固定，所述鎖定組件包括通過轉(zhuǎn)軸分別與第一盒體和第二盒體轉(zhuǎn)動(dòng)相連的鎖定殼和鎖定塊；所述鎖定殼包括鎖定腔以及位于鎖定腔兩側(cè)的周期性分布的卡槽，所述鎖定塊能夠在鎖定腔中滑動(dòng)，所述鎖定塊的端部設(shè)有能夠與所述卡槽相卡合的彈性卡塊。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人浙江大學(xué)昆山創(chuàng)新中心，其通訊地址為：215399 江蘇省蘇州市昆山市祖沖之南路1699號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。