恭喜浙江大學昆山創新中心孔劍獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜浙江大學昆山創新中心申請的專利一種多功能晶圓夾具獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110943028B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911201145.7,技術領域涉及:H01L21/687;該發明授權一種多功能晶圓夾具是由孔劍;徐晨晨;欒亦雄設計研發完成,并于2019-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種多功能晶圓夾具在說明書摘要公布了:本發明公開了一種多功能晶圓夾具,屬于芯片加工技術領域,包括轉動連接的第一盒體和第二盒體,所述第一盒體與第二盒體內均設有存儲腔和安裝于所述存儲腔內的一對晶圓夾鉤,所述晶圓夾鉤能夠從所述存儲腔中伸出,所述晶圓夾鉤包括方向能夠調節的鉤體。本發明能夠夾取豎直或水平放置的晶圓,便于存放不使用的晶圓夾鉤,方便攜帶,功能多樣。
本發明授權一種多功能晶圓夾具在權利要求書中公布了:1.一種多功能晶圓夾具,其特征在于,包括轉動連接的第一盒體和第二盒體,所述第一盒體和第二盒體間能夠形成的夾角范圍為60°-180°,所述第一盒體與第二盒體內均設有存儲腔和安裝于所述存儲腔內的一對晶圓夾鉤,所述晶圓夾鉤能夠從所述存儲腔中伸出,所述晶圓夾鉤包括方向能夠調節的鉤體;所述第一盒體和第二盒體通過鎖定組件實現相對固定,所述鎖定組件包括通過轉軸分別與第一盒體和第二盒體轉動相連的鎖定殼和鎖定塊;所述鎖定殼包括鎖定腔以及位于鎖定腔兩側的周期性分布的卡槽,所述鎖定塊能夠在鎖定腔中滑動,所述鎖定塊的端部設有能夠與所述卡槽相卡合的彈性卡塊。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學昆山創新中心,其通訊地址為:215399 江蘇省蘇州市昆山市祖沖之南路1699號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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