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龍圖騰網恭喜浙江奧首材料科技有限公司申請的專利一種晶圓切割保護系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115346896B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211003487.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種晶圓切割保護系統是由侯軍;褚雨露;張楠;賀劍鋒;李傳友設計研發完成，并于2022-08-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓切割保護系統在說明書摘要公布了：本發明涉及一種晶圓切割保護系統，包括點膠涂覆設備、膠層固化設備、切割設備和膠層去除設備，膠層去除設備包括浸泡清洗裝置和旋轉噴淋清洗裝置，旋轉噴淋清洗裝置中的清洗箱體設有浸泡腔、第一沖洗腔和第二沖洗腔，浸泡腔與第一沖洗腔之間和所述第一沖洗腔與第二沖洗腔之間均設有閘門，浸泡腔的頂部設有第一噴淋水管，第一沖洗腔的頂部設有第一清洗液噴淋管和第二噴淋水管，第二沖洗腔的頂部設有第二清洗液噴淋管和第三噴淋水管，第二沖洗腔的頂部設有第一氮氣噴吹管。本發明解決了晶圓切割保護涂層去除效率低、清除效果差的技術問題。

本發明授權一種晶圓切割保護系統在權利要求書中公布了：1.一種晶圓切割保護系統，包括依次設置的點膠涂覆設備、膠層固化設備、切割設備和膠層去除設備，其特征在于，所述膠層去除設備包括依次設置的浸泡清洗裝置和旋轉噴淋清洗裝置，所述旋轉噴淋清洗裝置包括支架，所述支架上固定安裝有清洗箱體，所述清洗箱體的頂部封蓋有蓋板，所述清洗箱體的底部設有由第一動力機構驅動且豎向升降的升降柱，所述升降柱連接驅動所述升降柱繞回轉中心轉動的第二動力機構，所述升降柱貫穿所述清洗箱體的底面伸入所述清洗箱體內，所述升降柱的頂端固定安裝有回轉盤，所述升降柱具有中心通孔，所述回轉盤的上表面設有若干個吸盤，所有吸盤與所述中心通孔連通，所述升降柱的底端通過旋轉接頭連接真空泵；所述清洗箱體自下向上依次設有浸泡腔、第一沖洗腔和第二沖洗腔，所述浸泡腔內盛裝有浸泡藥液，所述浸泡腔內設有超聲發生器，所述浸泡腔與第一沖洗腔之間和所述第一沖洗腔與第二沖洗腔之間均設有閘門，所述閘門包括固定于所述清洗箱體上的閘板，所述閘板上開設有安裝槽，所述安裝槽中心位置的寬度大于所述回轉盤的直徑，所述安裝槽內設有對開的伸縮節，所述伸縮節的周邊與閘板之間設有密封條，所述浸泡腔的頂部設有第一噴淋水管，所述浸泡腔的底部設有第一排液管，所述第一沖洗腔的頂部設有第一清洗液噴淋管和第二噴淋水管，所述第二噴淋水管位于所述第一清洗液噴淋管的上方，所述第一沖洗腔的底部設有第二排液管，所述第二沖洗腔的頂部設有第二清洗液噴淋管和第三噴淋水管，所述第三噴淋水管位于所述第二清洗液噴淋管的上方，所述第二沖洗腔的底部設有第三排液管，所述第一清洗液噴淋管連接第一清洗液儲罐，所述第二清洗液噴淋管連接第二清洗液儲罐，所述第二沖洗腔的頂部位于所述第三噴淋水管的上方設有第一氮氣噴吹管。

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