買(mǎi)專(zhuān)利賣(mài)專(zhuān)利找龍圖騰，真高效！ 查專(zhuān)利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專(zhuān)利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專(zhuān)利投射光刻中用于成像光的光束引導(dǎo)的光學(xué)元件獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN110945429B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：201880048218.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)投射光刻中用于成像光的光束引導(dǎo)的光學(xué)元件是由J.普羅赫諾;D.沙弗;R.奧利克設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2018-07-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本投射光刻中用于成像光的光束引導(dǎo)的光學(xué)元件在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種用于投射光刻中的成像光的光束引導(dǎo)的光學(xué)元件M。光學(xué)元件M包含一主體18和由主體18所承載的至少一個(gè)光學(xué)表面19。附接于主體18的至少一個(gè)補(bǔ)償重量元件20、23用于由重力所引起的光學(xué)表面19的圖形變形的重量補(bǔ)償。這產(chǎn)生了在使用位置處具有小的圖形變形的光學(xué)元件。

本發(fā)明授權(quán)投射光刻中用于成像光的光束引導(dǎo)的光學(xué)元件在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于投射光刻中的成像光3的光束引導(dǎo)的光學(xué)元件M；M1至M10，包括主體18和由該主體18承載的至少一個(gè)光學(xué)表面19，其特征在于至少一個(gè)補(bǔ)償重量元件20；23；26；27；31；36；43，所述至少一個(gè)補(bǔ)償重量元件附接于該主體18，用于由重力引起的光學(xué)表面19的圖形變形的重量補(bǔ)償；以及該補(bǔ)償重量元件27；31的補(bǔ)償重量28通過(guò)連接桿29；32連接至該主體18，使得該補(bǔ)償重量28從其質(zhì)量中心開(kāi)始的重力G的方向在與連接區(qū)域30相距一距離處延伸，該連接桿29；32經(jīng)由該連接區(qū)域連接至該主體18。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司，其通訊地址為：德國(guó)上科亨；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。