恭喜朗姆研究公司詹姆斯·S·思姆斯獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專利沉積氮化硅膜的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112930581B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980068903.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)沉積氮化硅膜的方法是由詹姆斯·S·思姆斯;謝恩·唐;維克蘭特·萊;安德魯·麥克羅;邱華檀設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-10-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本沉積氮化硅膜的方法在說明書摘要公布了：提供了一種用于在堆棧上沉積氮化硅層的方法。該方法包括提供包括多個(gè)循環(huán)的原子層沉積，其中每個(gè)循環(huán)包括通過提供含硅前體氣體而用含硅前體為堆棧投料，提供N2等離子體轉(zhuǎn)化和提供H2等離子體轉(zhuǎn)化。
本發(fā)明授權(quán)沉積氮化硅膜的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于在堆棧上沉積氮化硅層的方法，所述方法包括提供包括多個(gè)循環(huán)的原子層沉積，其中每個(gè)循環(huán)包括：通過提供含鹵化硅前體氣體而用含鹵化硅前體為堆棧投料，從而形成硅前體沉積物；在為所述堆棧投料之后提供N2等離子體轉(zhuǎn)化以將所述硅前體沉積物轉(zhuǎn)化成氮化硅沉積物；以及在提供所述N2等離子體轉(zhuǎn)化之后提供H2等離子體轉(zhuǎn)化以形成所述氮化硅沉積物的氫化表面，其中，所述堆棧的后續(xù)投料將硅前體沉積在所述氫化表面上。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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