買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司申請的專利一種電鍍前預(yù)濕方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113122891B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201911405114.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C25D5/00；該發(fā)明授權(quán)一種電鍍前預(yù)濕方法是由賈照偉;余齊興;王堅;王暉設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-12-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種電鍍前預(yù)濕方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種電鍍前預(yù)濕方法，包括以下步驟：根據(jù)產(chǎn)品類型配置真空壓力值及噴淋液壓力值；獲取所述真空壓力值及所述噴淋液壓力值，并根據(jù)所述真空壓力值控制真空泵工作以達到所述真空壓力值，根據(jù)所述噴淋液壓力值控制液壓調(diào)節(jié)裝置以達到所述噴淋液壓力值；驅(qū)動晶圓載臺以預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并停止抽真空；打開所述噴液管路的噴液閥門以對晶圓進行預(yù)設(shè)時間的噴淋預(yù)濕；打開進氣閥直至所述預(yù)濕腔體內(nèi)達到預(yù)設(shè)氣壓值；將所述晶圓傳送至電鍍腔體內(nèi)。本發(fā)明能夠有效的解決不同深寬比及不同線寬對預(yù)濕壓力的要求，提高電鍍前預(yù)濕效果，有利于改善后續(xù)電鍍層與種子層之間的結(jié)合，并防止光刻膠受損導(dǎo)致電鍍層互連形成短路，從而提升電鍍后良率。

本發(fā)明授權(quán)一種電鍍前預(yù)濕方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種電鍍前預(yù)濕方法，其特征在于，包括以下步驟：根據(jù)產(chǎn)品類型配置真空壓力值及噴淋液壓力值；獲取所述真空壓力值及所述噴淋液壓力值，并根據(jù)所述真空壓力值控制真空泵工作以使預(yù)濕腔體內(nèi)達到所述真空壓力值，根據(jù)所述噴淋液壓力值控制液壓調(diào)節(jié)裝置以使噴液管路內(nèi)液體壓力達到所述噴淋液壓力值；驅(qū)動晶圓載臺以預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并停止抽真空，所述晶圓載臺上放置有晶圓，所述晶圓上具有種子層及位于所述種子層上的圖形化光刻膠層；打開所述噴液管路的噴液閥門以對所述晶圓進行預(yù)設(shè)時間的噴淋預(yù)濕；打開進氣閥通入氣體至所述預(yù)濕腔體內(nèi)直至所述預(yù)濕腔體內(nèi)達到預(yù)設(shè)氣壓值；將所述晶圓傳送至電鍍腔體內(nèi)；其中，在通入氣體至所述預(yù)濕腔體內(nèi)直至所述預(yù)濕腔體內(nèi)達到預(yù)設(shè)氣壓值的步驟中，在所述預(yù)濕腔體內(nèi)達到第一氣壓值之前，所述噴液管路維持噴淋狀態(tài)，所述第一氣壓值小于所述預(yù)設(shè)氣壓值；在所述預(yù)濕腔體內(nèi)達到所述第一氣壓值之后，關(guān)閉所述噴液閥門以停止噴淋。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。