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龍圖騰網(wǎng)恭喜廣東科技學(xué)院申請的專利一種可提升硅片方阻均勻性的擴(kuò)散爐獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113122927B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110570620.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B31/10；該發(fā)明授權(quán)一種可提升硅片方阻均勻性的擴(kuò)散爐是由周繼承;曾世魁設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種可提升硅片方阻均勻性的擴(kuò)散爐在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝設(shè)備領(lǐng)域，公開一種可提升硅片方阻均勻性的擴(kuò)散爐，包括：爐門、爐體、進(jìn)氣管、出氣管和隔熱部，爐體一側(cè)開口，爐門安裝在爐體的開口處，爐門一端與爐體鉸接，進(jìn)氣管和出氣管分別與爐體連通，進(jìn)氣管至少為兩個，爐體內(nèi)靠近爐門一側(cè)活動設(shè)置有隔熱部。本方案可以使?fàn)t口氣體濃度以及停留時(shí)間增加，并采用多路進(jìn)氣管，改善爐口處氣體均勻性，提升了爐口附近硅片方阻擴(kuò)散的均勻性。

本發(fā)明授權(quán)一種可提升硅片方阻均勻性的擴(kuò)散爐在權(quán)利要求書中公布了：1.一種可提升硅片方阻均勻性的擴(kuò)散爐，其特征在于：包括爐門1、爐體4、進(jìn)氣管7、出氣管8和隔熱部，所述爐體4一側(cè)開口，所述爐門1安裝在所述爐體4的開口處，所述爐門1一端與所述爐體4鉸接，所述進(jìn)氣管7和所述出氣管8分別與所述爐體4連通，所述進(jìn)氣管7至少為兩個，所述爐體4內(nèi)靠近爐門1一側(cè)活動設(shè)置有所述隔熱部；所述隔熱部為隔熱板3，所述隔熱板3中間開設(shè)有通孔31，所述隔熱板3外邊緣與所述爐體4內(nèi)壁貼合；還包括連接桿2和止擋部41，所述連接桿2的一端與所述爐門1固定連接，所述爐門1上端與所述爐體4鉸接，所述連接桿2的另一端與所述隔熱板3固定連接，所述爐體4內(nèi)壁下側(cè)向上凸起形成止擋部41，所述止擋部41包括結(jié)合面411和止擋面412，所述結(jié)合面411與所述隔熱板3下邊緣抵接，所述止擋面412與所述隔熱板3側(cè)面抵接，用以限制所述隔熱板3向遠(yuǎn)離爐門1一側(cè)移動；所述出氣管8與所述爐體4下端連通，所述出氣管8設(shè)置在所述爐門1與所述隔熱板3之間；還包括分流結(jié)構(gòu)6，設(shè)置于遠(yuǎn)離爐門1側(cè)，所述分流結(jié)構(gòu)6將所述爐體4逐級分隔成多個腔室；所述分流結(jié)構(gòu)6包括固定桿61和多個分流板，多個所述分流板均平行布置，并與所述固定桿61垂直固定連接，所述固定桿61兩端與所述爐體4固定連接，所述分流板側(cè)邊與所述爐體4側(cè)壁固定連接；多個所述分流板包括一塊第一分流板62、兩塊第二分流板63、四塊第三分流板64，多個所述分流板靠近爐門1的一端對齊設(shè)置，所述第二分流板63的長度介于所述第一分流板62的長度與所述第三分流板64的長度之間，所述第三分流板64的長度小于第二分流板63所述的長度，所述第一分流板62設(shè)置在所述爐體4軸線上，兩塊所述第二分流板63分別設(shè)置在兩個所述進(jìn)氣管7軸線上，所述第三分流板64設(shè)置在每個所述第二分流板63相鄰兩側(cè)，多個所述分流板之間的間距相等。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人廣東科技學(xué)院，其通訊地址為：523083 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東園大道松山湖段2號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。