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龍圖騰網恭喜廣東科技學院申請的專利一種可提升硅片方阻均勻性的擴散爐獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113122927B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110570620.9，技術領域涉及：C30B31/10；該發明授權一種可提升硅片方阻均勻性的擴散爐是由周繼承;曾世魁設計研發完成，并于2021-05-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種可提升硅片方阻均勻性的擴散爐在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體擴散工藝設備領域，公開一種可提升硅片方阻均勻性的擴散爐，包括：爐門、爐體、進氣管、出氣管和隔熱部，爐體一側開口，爐門安裝在爐體的開口處，爐門一端與爐體鉸接，進氣管和出氣管分別與爐體連通，進氣管至少為兩個，爐體內靠近爐門一側活動設置有隔熱部。本方案可以使爐口氣體濃度以及停留時間增加，并采用多路進氣管，改善爐口處氣體均勻性，提升了爐口附近硅片方阻擴散的均勻性。

本發明授權一種可提升硅片方阻均勻性的擴散爐在權利要求書中公布了：1.一種可提升硅片方阻均勻性的擴散爐，其特征在于：包括爐門1、爐體4、進氣管7、出氣管8和隔熱部，所述爐體4一側開口，所述爐門1安裝在所述爐體4的開口處，所述爐門1一端與所述爐體4鉸接，所述進氣管7和所述出氣管8分別與所述爐體4連通，所述進氣管7至少為兩個，所述爐體4內靠近爐門1一側活動設置有所述隔熱部；所述隔熱部為隔熱板3，所述隔熱板3中間開設有通孔31，所述隔熱板3外邊緣與所述爐體4內壁貼合；還包括連接桿2和止擋部41，所述連接桿2的一端與所述爐門1固定連接，所述爐門1上端與所述爐體4鉸接，所述連接桿2的另一端與所述隔熱板3固定連接，所述爐體4內壁下側向上凸起形成止擋部41，所述止擋部41包括結合面411和止擋面412，所述結合面411與所述隔熱板3下邊緣抵接，所述止擋面412與所述隔熱板3側面抵接，用以限制所述隔熱板3向遠離爐門1一側移動；所述出氣管8與所述爐體4下端連通，所述出氣管8設置在所述爐門1與所述隔熱板3之間；還包括分流結構6，設置于遠離爐門1側，所述分流結構6將所述爐體4逐級分隔成多個腔室；所述分流結構6包括固定桿61和多個分流板，多個所述分流板均平行布置，并與所述固定桿61垂直固定連接，所述固定桿61兩端與所述爐體4固定連接，所述分流板側邊與所述爐體4側壁固定連接；多個所述分流板包括一塊第一分流板62、兩塊第二分流板63、四塊第三分流板64，多個所述分流板靠近爐門1的一端對齊設置，所述第二分流板63的長度介于所述第一分流板62的長度與所述第三分流板64的長度之間，所述第三分流板64的長度小于第二分流板63所述的長度，所述第一分流板62設置在所述爐體4軸線上，兩塊所述第二分流板63分別設置在兩個所述進氣管7軸線上，所述第三分流板64設置在每個所述第二分流板63相鄰兩側，多個所述分流板之間的間距相等。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人廣東科技學院，其通訊地址為：523083 廣東省東莞市松山湖高新技術產業開發區東園大道松山湖段2號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。