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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市壹倍科技有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120031883B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510513147.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)是由劉暢宇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-04-23向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)，通過獲取晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集，基于輕量級(jí)對(duì)齊方法，對(duì)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集進(jìn)行空間對(duì)齊，生成目標(biāo)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集，利用開放世界通配符方法為目標(biāo)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集中的無標(biāo)簽晶圓數(shù)據(jù)制作偽標(biāo)簽，生成多個(gè)偽標(biāo)簽缺陷數(shù)據(jù)集，利用多個(gè)偽標(biāo)簽缺陷數(shù)據(jù)集對(duì)預(yù)設(shè)的監(jiān)督模型進(jìn)行預(yù)訓(xùn)練，并利用預(yù)設(shè)的微調(diào)算法對(duì)預(yù)訓(xùn)練后獲得的初始檢測(cè)模型進(jìn)行模型微調(diào)，獲得目標(biāo)檢測(cè)模型，進(jìn)而將待測(cè)晶圓圖像輸入至目標(biāo)檢測(cè)模型中進(jìn)行缺陷檢測(cè)，以獲得晶圓缺陷檢測(cè)結(jié)果，從而使獲得的目標(biāo)檢測(cè)模型能夠?qū)W習(xí)到不同的晶圓缺陷特征，識(shí)別到未知的晶圓缺陷種類，提高了晶圓缺陷的檢測(cè)精度。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，包括： 獲取晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集； 基于輕量級(jí)對(duì)齊方法，對(duì)所述晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集進(jìn)行空間對(duì)齊，生成目標(biāo)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集； 利用開放世界通配符方法為所述目標(biāo)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集中的無標(biāo)簽晶圓數(shù)據(jù)制作偽標(biāo)簽，生成多個(gè)偽標(biāo)簽缺陷數(shù)據(jù)集； 利用所述多個(gè)偽標(biāo)簽缺陷數(shù)據(jù)集對(duì)預(yù)設(shè)的監(jiān)督模型進(jìn)行預(yù)訓(xùn)練，并利用預(yù)設(shè)的微調(diào)算法對(duì)預(yù)訓(xùn)練后獲得的初始檢測(cè)模型進(jìn)行模型微調(diào)，獲得目標(biāo)檢測(cè)模型； 將待測(cè)晶圓圖像輸入至所述目標(biāo)檢測(cè)模型中進(jìn)行缺陷檢測(cè)，以獲得晶圓缺陷檢測(cè)結(jié)果； 其中，所述晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集包括晶圓文本數(shù)據(jù)和晶圓圖像數(shù)據(jù)，所述基于輕量級(jí)對(duì)齊方法，對(duì)所述晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集進(jìn)行空間對(duì)齊，生成目標(biāo)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集，包括： 基于預(yù)設(shè)的低秩適應(yīng)方法和多尺度特征融合方法，對(duì)所述晶圓文本數(shù)據(jù)和所述晶圓圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，確定所述晶圓文本數(shù)據(jù)和所述晶圓圖像數(shù)據(jù)之間的目標(biāo)交互信息； 根據(jù)所述晶圓文本數(shù)據(jù)和所述晶圓圖像數(shù)據(jù)之間的目標(biāo)交互信息，利用負(fù)樣本標(biāo)簽方法和對(duì)齊方法，對(duì)所述晶圓文本數(shù)據(jù)以及所述晶圓圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像文本關(guān)聯(lián)，生成多個(gè)圖像文本數(shù)據(jù)對(duì)，其中，每一個(gè)所述圖像文本數(shù)據(jù)對(duì)各自對(duì)應(yīng)的描述文本； 針對(duì)每一個(gè)所述圖像文本數(shù)據(jù)對(duì)，分別計(jì)算所述描述文本與所述圖像文本數(shù)據(jù)對(duì)中圖像的相似度，并基于所述圖像文本數(shù)據(jù)對(duì)、所述描述文本以及所述相似度，生成圖像文本預(yù)訓(xùn)練數(shù)據(jù)對(duì)； 根據(jù)各個(gè)所述圖像文本預(yù)訓(xùn)練數(shù)據(jù)對(duì)，生成目標(biāo)晶圓多模態(tài)數(shù)據(jù)集。

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