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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專利質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置、控制裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119901430B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510389780.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M3/26；該發(fā)明授權(quán)質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置、控制裝置是由沈康;王兆祥;涂樂(lè)義;梁潔;桂智謙;周正;彭國(guó)發(fā)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-03-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置、控制裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本公開(kāi)提供一種質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置、控制裝置，可用于對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行內(nèi)漏檢測(cè)。所述內(nèi)漏檢測(cè)方法包括：先對(duì)包括待測(cè)的質(zhì)量流量控制器在內(nèi)的進(jìn)氣管路和工藝腔室實(shí)施排氣，再對(duì)包括待測(cè)的質(zhì)量流量控制器在內(nèi)的進(jìn)氣管路和工藝腔室形成的密閉空間實(shí)施脫氣，在脫氣完成后，由進(jìn)氣裝置對(duì)通過(guò)進(jìn)氣管路對(duì)工藝腔室輸送氣體以實(shí)施泄漏檢測(cè)，從而判定出待測(cè)的質(zhì)量流量控制器是否存在內(nèi)漏，相比于相關(guān)技術(shù)，所述內(nèi)漏檢測(cè)方法具有流程簡(jiǎn)單、不會(huì)影響半導(dǎo)體工藝制程、檢測(cè)精確、并可對(duì)檢測(cè)出存在內(nèi)漏的質(zhì)量流量控制器進(jìn)行及時(shí)的維修或更換，確保氣體流量控制的精準(zhǔn)性，更有利于后續(xù)半導(dǎo)體晶片的制程工藝，提升良率。

本發(fā)明授權(quán)質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置、控制裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法，其特征在于，所述質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，所述半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括工藝腔室、至少一路進(jìn)氣裝置、以及排氣裝置，每一路進(jìn)氣裝置包括進(jìn)氣管路和設(shè)于進(jìn)氣管路上的反應(yīng)氣體源、氣源閥門、質(zhì)量流量控制器、以及控制器閥門，多路進(jìn)氣裝置與工藝腔室之間設(shè)有進(jìn)氣總閥門，所述排氣裝置包括排氣管路和設(shè)于排氣管路上的排氣閥組件和排氣泵；所述質(zhì)量流量控制器的內(nèi)漏檢測(cè)方法包括如下步驟： 將排氣裝置中的排氣閥組件打開(kāi)，將待測(cè)的質(zhì)量流量控制器所屬的一路進(jìn)氣裝置中的氣源閥門關(guān)閉并將控制器閥門打開(kāi)，將進(jìn)氣總閥門打開(kāi)，啟動(dòng)排氣泵，使得工藝腔室進(jìn)入排氣模式以實(shí)施排氣； 將排氣裝置中的排氣閥組件關(guān)閉，將待測(cè)的質(zhì)量流量控制器所屬的一路進(jìn)氣裝置中的氣源閥門關(guān)閉并將控制器閥門打開(kāi)，將進(jìn)氣總閥門打開(kāi)，使得工藝腔室進(jìn)入脫氣模式以實(shí)施脫氣；在完成脫氣后，檢測(cè)工藝腔室的第一壓力P1； 將排氣裝置中的排氣閥組件關(guān)閉，將待測(cè)的質(zhì)量流量控制器所屬的一路進(jìn)氣裝置中的氣源閥門打開(kāi)并將控制器閥門打開(kāi)，將進(jìn)氣總閥門打開(kāi)，使得工藝腔室進(jìn)入泄漏檢測(cè)模式，由這一路進(jìn)氣裝置向工藝腔室輸送反應(yīng)氣體以實(shí)施泄漏檢測(cè)，并在一送氣時(shí)間后，檢測(cè)工藝腔室的第二壓力P2；以及 根據(jù)檢測(cè)的工藝腔室的第一壓力P1和第二壓力P2，判定待測(cè)的質(zhì)量流量控制器是否存在內(nèi)漏：根據(jù)檢測(cè)的工藝腔室的第一壓力P1和第二壓力P2，計(jì)算泄漏率，其中，所述泄漏率為第二壓力P2與第一壓力P1的差值與送氣時(shí)間的比值；將計(jì)算得到的泄漏率與設(shè)定的泄漏閾值作比較，且當(dāng)所述泄漏率大于等于所述泄漏閾值時(shí)，判定待測(cè)的質(zhì)量流量控制器存在內(nèi)漏。

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