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龍圖騰網恭喜沈陽和研科技股份有限公司申請的專利一種砷化鎵晶片的劃切方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119427168B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510045890.6，技術領域涉及：B24B27/06；該發明授權一種砷化鎵晶片的劃切方法是由于冬梅;余胡平;李艷麗;許航;田秋實;張洪盛;李智博;代成林設計研發完成，并于2025-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種砷化鎵晶片的劃切方法在說明書摘要公布了：本發明涉及晶片切割技術領域，提供了一種砷化鎵晶片的劃切方法，在磨刀階段通過磨刀板實現兩次磨刀，一方面是能將砂輪刀片的金剛石裸露出來并產生容屑槽，另一方面是能將砂輪刀片修圓，保證砂輪刀片和主軸同心，而且每次磨刀都會使跟磨刀板接觸的刀刃部分有損耗，會使砂輪刀片的刀刃處變成“V”形，達到修整刀刃形狀的目的，這樣在劃切產品過程中與材料的接觸面積更少，對材料的撞擊破碎沖擊力更小，可明顯減少分割后粒子的崩缺和裂紋，有利于提升晶片的切割質量，從而提升晶片產品良率；在劃切階段優先分割成多個步進的寬條狀切割道，然后再進行細致的劃分，這樣可將材料應力進行初步釋放，因晶片寬條面積較大足以抵抗裂紋延伸問題。

本發明授權一種砷化鎵晶片的劃切方法在權利要求書中公布了：1.一種砷化鎵晶片的劃切方法，其特征在于，包括：S100，將顆粒度與砂輪刀片匹配的磨刀板安裝在劃片機的切割工作盤的預定位置；S200，設置磨刀參數并啟動劃片機，先控制砂輪刀片切進磨刀板的深度不小于待切砷化鎵晶片的厚度，然后再控制砂輪刀片切進磨刀板的深度為待切砷化鎵晶片厚度的13，通過由深變淺的兩次磨刀，使砂輪刀片的刀刃處變成“V”形，達到修整刀刃形狀的目的；S300，取下磨刀板，將磨刀硅片安裝在切割工作盤的預定位置，控制砂輪刀片切進磨刀硅片的深度為待切砷化鎵晶片厚度的23，進一步改善砂輪刀片出刃狀態和端部形狀，使得金剛石更好的暴露以及產生更多的容屑槽，使砂輪刀片當前的刀刃和形狀更適合切割砷化鎵晶片這種硬脆薄的材料；S400，取下磨刀硅片并設置切割參數，將待切砷化鎵晶片固定在切割工作盤的預定位置，控制砂輪刀片按照切割參數進行劃切；所述切割參數包括切割流程，所述切割流程包括依次設置的第一通道步進、第二通道步進以及第三通道步進；其中，所述第一通道步進按照粒子理論步進的5倍步進，所述第二通道步進與所述第一通道步進相互垂直，并按照粒子理論步進依次劃切；所述第三通道步進為完成所述第一通道步進剩余的切割道；所述粒子理論步進為最小晶片單元的邊長；劃切時要切透砷化鎵晶片的材料層，且劃切深度設定為切進劃片機的真空吸盤上的粘性襯底膜0.5μm~4μm，有效的解決砷化鎵晶片在持續切割過程中，材料背面的金屬層和襯底膠膜對刀刃的包裹導致刀片切削能力降低的問題；在S200中，所述磨刀參數還包括：根據設備已安裝的砂輪刀片厚度，設置每次磨刀切割的步進為砂輪刀片厚度的5~10倍。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人沈陽和研科技股份有限公司，其通訊地址為：110000 遼寧省沈陽市皇姑區塔灣街11號(塔灣街11號)信悅匯A1座20層2005-2單元；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。