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恭喜羅茵尼公司A·哈斯卡獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜羅茵尼公司申請的專利通過微調節提高半導體器件轉移速度的方法和裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114664715B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-24發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210311959.1,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權通過微調節提高半導體器件轉移速度的方法和裝置是由A·哈斯卡;C·彼得森;J·溫特;L·杜賓設計研發完成,并于2019-09-25向國家知識產權局提交的專利申請。

通過微調節提高半導體器件轉移速度的方法和裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種用于執行將半導體器件管芯從第一襯底直接轉移到第二襯底的裝置。所述裝置包括能夠在兩個軸上移動的第一襯底傳送機構。微調節機構與所述第一襯底傳送機構聯接并且被構造成保持所述第一襯底并進行位置調節,所述位置調節的尺度小于由所述第一襯底傳送機構引起的位置調節。所述微調節機構包括:微調節致動器,所述微調節致動器具有遠側端部;以及第一襯底保持器框架,所述第一襯底保持器框架能夠經由與所述微調節致動器的所述遠側端部接觸而移動。第二框架被構造成固定所述第二襯底,使得轉移表面被設置成面向設置在所述第一襯底的表面上的所述半導體器件管芯。轉移機構被構造成壓住所述半導體器件管芯使其與所述襯底的所述轉移表面接觸。

本發明授權通過微調節提高半導體器件轉移速度的方法和裝置在權利要求書中公布了:1.一種轉移半導體器件管芯的方法,包括: 確定將設置在第一襯底上的半導體器件管芯轉移到第二襯底的轉移位置; 至少部分地基于所述轉移位置確定第一襯底和第二襯底的對準位置; 至少部分地基于所述對準位置,將第一襯底或第二襯底中的至少一個經由第一傳送機構移動一主要距離,所述第一傳送機構配置為實施主要移動; 確定與在所述對準位置對準第一襯底和第二襯底相關聯的一個或多個微位置調節; 至少部分地基于所述一個或多個微位置調節,將第一襯底或第二襯底中的至少一個經由第二傳送機構移動到所述對準位置,所述第二傳送機構配置為實施次要移動;以及 將半導體器件管芯從第一襯底轉移到第二襯底, 其中所述次要移動為比所述主要移動更小尺度的移動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人羅茵尼公司,其通訊地址為:美國愛達荷州;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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