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龍圖騰網恭喜北京爍科中科信電子裝備有限公司申請的專利一種消除電極電荷積累的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112670149B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-24發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910981013.4，技術領域涉及：H01J37/317；該發明授權一種消除電極電荷積累的方法是由金洲設計研發完成，并于2019-10-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種消除電極電荷積累的方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種消除電極電荷積累的方法，用恒流電源不斷提供的電荷來中和電極積累的異性電荷，保證電極的電位穩定。本方法涉及離子注入機，屬于半導體器件制造領域。高壓電源A1輸出直流正電壓，提供給電極A2正電位，用于離子束的加速并使其獲得能量，高壓電阻A4構成回路，恒流電源A5提供的電子7用于中和電極A上所積累的正電荷6，保證電極A上電位的穩定。高壓電源B8輸出直流負電壓，提供給電極B9負電位，用于抑制離子束中電子的發散，高壓電阻B9構成回路，恒流電源B11提供的正電荷13用于中和其上所積累的電子12，保證電極B上電位的穩定。

本發明授權一種消除電極電荷積累的方法在權利要求書中公布了：1.一種消除電極電荷積累的方法，其特征在于： 當高壓電源A1輸出直流正電壓時，提供給正電極A2一個正電位，其與地電極C3之間形成一個正電場，用于離子束的加速并使其獲得滿足工藝要求的初始能量；由于加速后的離子束會轟擊到正電極A2上，使電極A上積累正電荷6，會使其上的電位不穩定；高壓電阻A4構成回路，恒流電源A5提供的電子7不斷地流入正電極A2用于中和其上所積累的正電荷6，保證正電極A2上電位的穩定；其中，正電極A2依次通過高壓電阻A4、恒流電源A5與地連接； 當高壓電源B8輸出直流負電壓時，提供給負電極B9一個負電位，其與地電極C3之間形成一個負電場，用于抑制離子束中電子12的發散，在此過程中電子12會轟擊到負電極B9上，使負電極B9上積累電子12，會使其上的電位不穩定；高壓電阻B10構成回路，恒流電源B10提供的正電荷13不斷地流入負電極B9用于中和其上所積累的電子12，保證負電極B9上電位的穩定；其中，負電極B9依次通過高壓電阻B10、恒流電源B11與地連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京爍科中科信電子裝備有限公司，其通訊地址為：101111 北京市通州區光機電一體化產業基地興光二街6號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。