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龍圖騰網(wǎng)恭喜五邑大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利一種鍍膜裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)，本實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN222886753U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202421590343.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/24；該實(shí)用新型一種鍍膜裝置是由劉賢哲;廖芷櫻;劉明峰;李淑瑜;梁寶文;黃愛(ài)萍;羅堅(jiān)義設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-07-05向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種鍍膜裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)公開(kāi)了一種鍍膜裝置，包括：蒸發(fā)箱體；坩堝，位于蒸發(fā)箱體的內(nèi)腔，坩堝用于盛放鍍膜材料；承載機(jī)構(gòu)，設(shè)置在蒸發(fā)箱體的內(nèi)腔，承載機(jī)構(gòu)包括機(jī)械臂和載物塊，機(jī)械臂的末端設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)器，第一驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)端與載物塊的頂面連接，載物塊的一側(cè)設(shè)置有容納槽，載物塊的底面設(shè)置有與容納槽連通的貫通孔，容納槽用于放置基板，機(jī)械臂用于帶動(dòng)載物塊移動(dòng)以使載物塊的底部與坩堝的開(kāi)口之間的距離小于預(yù)設(shè)的距離閾值，且貫通孔位于坩堝的正上方，第一驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)載物塊旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)基板旋轉(zhuǎn)，基板遮蓋貫通孔；加熱模塊，位于蒸發(fā)箱體的內(nèi)腔，加熱模塊用于加熱坩堝。根據(jù)本申請(qǐng)?zhí)峁┑膶?shí)施例，能夠避免浪費(fèi)鍍膜材料以及提高成膜效果。

本實(shí)用新型一種鍍膜裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種鍍膜裝置，其特征在于，包括：蒸發(fā)箱體；坩堝，位于所述蒸發(fā)箱體的內(nèi)腔，所述坩堝用于盛放鍍膜材料；承載機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述蒸發(fā)箱體的內(nèi)腔，所述承載機(jī)構(gòu)包括機(jī)械臂和載物塊，所述機(jī)械臂的末端設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)器，所述第一驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)端與所述載物塊的頂面連接，所述載物塊的一側(cè)設(shè)置有容納槽，所述載物塊的底面設(shè)置有與所述容納槽連通的貫通孔，所述容納槽用于放置基板，所述機(jī)械臂用于帶動(dòng)所述載物塊移動(dòng)以使所述載物塊的底部與所述坩堝的開(kāi)口之間的距離小于預(yù)設(shè)的距離閾值，且所述貫通孔位于所述坩堝的正上方，所述第一驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)所述載物塊旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)所述基板旋轉(zhuǎn)，其中，所述基板遮蓋所述貫通孔；加熱模塊，位于所述蒸發(fā)箱體的內(nèi)腔，所述加熱模塊用于加熱所述坩堝。

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