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龍圖騰網(wǎng)恭喜TOPSIL環(huán)球晶圓股份公司申請(qǐng)的專利標(biāo)記掃描器獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113330148B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080010812.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/30；該發(fā)明授權(quán)標(biāo)記掃描器是由莫滕·漢尼拔·馬德森設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-01-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本標(biāo)記掃描器在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種獲得單晶錠的縱向取向標(biāo)記的表面特性參數(shù)的方法、一種生產(chǎn)取向被標(biāo)記的單晶錠的方法、以及一種用于執(zhí)行該方法的錠掃描器系統(tǒng)。該方法包括圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)單晶錠，記錄在角位置處從測(cè)量點(diǎn)到單晶錠的表面的距離，將距離與背景形狀進(jìn)行比較以識(shí)別偏離背景形狀的距離，以及記錄偏離背景形狀的距離的角位置和相應(yīng)距離。表面特性參數(shù)根據(jù)具有偏離背景形狀的距離的連續(xù)角位置和相應(yīng)距離被限定。該方法允許確定表面特性參數(shù)，不確定性較低。

本發(fā)明授權(quán)標(biāo)記掃描器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種獲得單晶錠10的縱向取向標(biāo)記11的表面特性參數(shù)的方法，該方法包括以下步驟：-提供具有圓柱形形狀的單晶錠10，該單晶錠具有縱向中心軸線12和自該縱向中心軸線12的半徑13，該半徑13定義該單晶錠10的表面14，該單晶錠10具有縱向取向標(biāo)記11，該縱向取向標(biāo)記11刻在該單晶錠10的表面14上，該縱向取向標(biāo)記11具有寬度31，41，-圍繞旋轉(zhuǎn)軸線23旋轉(zhuǎn)該單晶錠10，該旋轉(zhuǎn)軸線23基本上平行于該縱向中心軸線12并且位于相對(duì)于該縱向中心軸線12的偏移值內(nèi)，-記錄該單晶錠10的角位置，-記錄在這些角位置處距位于從該旋轉(zhuǎn)軸線23到該單晶錠10的表面14的測(cè)量距離處的測(cè)量點(diǎn)21的距離，-提供包含這些角位置和在相應(yīng)角位置時(shí)的距離的數(shù)據(jù)陣列，-根據(jù)該數(shù)據(jù)陣列計(jì)算該單晶錠10的背景形狀，-將這些距離與該背景形狀進(jìn)行比較，以識(shí)別偏離該背景形狀的距離，-記錄偏離該背景形狀的距離的角位置和相應(yīng)距離，以及-根據(jù)具有偏離該背景形狀的距離的連續(xù)角位置和所述相應(yīng)距離同時(shí)定義該表面特性參數(shù)和該寬度31，41。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人TOPSIL環(huán)球晶圓股份公司，其通訊地址為：丹麥腓特烈松；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。