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恭喜南開大學王廣才獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜南開大學申請的專利磁吸式拋光夾具和拋光裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110385632B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910655129.9,技術領域涉及:B24B29/02;該發明授權磁吸式拋光夾具和拋光裝置是由王廣才;王靜;李菁;歐琳設計研發完成,并于2019-07-19向國家知識產權局提交的專利申請。

磁吸式拋光夾具和拋光裝置在說明書摘要公布了:本發明屬于拋光技術領域,具體涉及一種磁吸式拋光夾具和拋光裝置。本發明為了解決傳統拋光過程中上片和取片工序繁瑣、耗時長且易碎片的問題,本發明提出的磁吸式拋光夾具包括夾具本體,所述夾具本體的正面開設有第一止口,第一止口面上用于放置待拋光件;所述夾具本體的背面開設有多個盲孔,盲孔內用于放置磁體;在待拋光件放置于第一止口面上之后,放置于盲孔內的磁體能夠將待拋光件吸附于第一止口面上。本發明的磁吸式拋光夾具采用磁力吸附放片和取片,無需采用粘接劑,無需烘箱加熱,在室溫下即可完成放片和取片工序。不僅在取片和裝片的過程中用時更短,而且解決了傳統拋光機采用粘接劑放片和取片時容易碎片的問題。

本發明授權磁吸式拋光夾具和拋光裝置在權利要求書中公布了:1.一種磁吸式拋光夾具,應用于晶圓拋光工藝,其特征在于,所述磁吸式拋光夾具包括夾具本體,所述夾具本體的正面開設有第一止口,第一止口面上用于放置待拋光件;所述夾具本體的背面開設有多個盲孔,所述盲孔內用于放置第一磁體;在所述待拋光件放置于所述第一止口面上之后,放置于所述盲孔內的第一磁體能夠將所述待拋光件吸附于所述第一止口面上;所述夾具本體的背面開設有第二止口,并且所述盲孔均勻地分布在所述第二止口的第二止口面上;在每個所述盲孔的底面開設有穿透所述第一止口面的通孔,所述通孔用于防止所述待拋光件與所述第一止口面之間產生真空吸附;其中,所述第一止口的深度小于所述待拋光件的厚度;所述第一止口的側壁的外沿設置為圓角。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人南開大學,其通訊地址為:300071 天津市南開區衛津路94號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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