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龍圖騰網(wǎng)恭喜紫創(chuàng)(南京)科技有限公司申請的專利半導體檢測裝置、檢測方法及半導體帶有工藝腔的裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN111415875B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：201910670912.2，技術領域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權半導體檢測裝置、檢測方法及半導體帶有工藝腔的裝置是由李海鵬設計研發(fā)完成，并于2019-07-24向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本半導體檢測裝置、檢測方法及半導體帶有工藝腔的裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種半導體檢測裝置、檢測方法及半導體工藝裝置，其中檢測裝置包括：晶圓承載裝置，用于承載待檢測晶圓；入射光系統(tǒng)，發(fā)射第一入射光；光束整形系統(tǒng)，將所述第一入射光整形成第一環(huán)形入射光，所述第一環(huán)形入射光經(jīng)待檢測晶圓的反射形成第一反射光；光學信號分揀系統(tǒng)，用于自所述第一反射光中分揀出非線性光學信號；控制系統(tǒng)，用于根據(jù)所述非線性光學信號獲取所述待檢測晶圓的第一缺陷信息。本發(fā)明用于實現(xiàn)制程中非破壞性的原子級缺陷檢測，同時消除檢測過程中非線性光學信號的各向異性。

本發(fā)明授權半導體檢測裝置、檢測方法及半導體帶有工藝腔的裝置在權利要求書中公布了：1.一種半導體檢測裝置，其特征在于，包括：晶圓承載裝置，用于承載待檢測晶圓；入射光系統(tǒng)，發(fā)射第一入射光；光束整形系統(tǒng)，將所述第一入射光整形成第一環(huán)形入射光，所述第一環(huán)形入射光經(jīng)待檢測晶圓的反射形成第一反射光；光學信號分揀系統(tǒng)，用于自所述第一反射光中分揀出非線性光學信號；控制系統(tǒng)，用于根據(jù)所述非線性光學信號獲取所述待檢測晶圓的第一缺陷信息；主信號采集系統(tǒng)，用于獲取所述非線性光學信號，并將所述非線性光學信號傳輸至所述控制系統(tǒng)；附加信號采集系統(tǒng)，用于自所述第一反射光中獲取附加光學信號，并將所述附加光學信號傳輸至所述控制系統(tǒng)。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人紫創(chuàng)(南京)科技有限公司，其通訊地址為：211800 江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢_373；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。