恭喜東曹株式會社土田裕也獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東曹株式會社申請的專利釔鑄錠以及使用其的濺射靶材獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115516127B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202180030295.5，技術領域涉及：C23C14/34；該發(fā)明授權釔鑄錠以及使用其的濺射靶材是由土田裕也;召田雅實;原浩之;松永修設計研發(fā)完成，并于2021-04-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本釔鑄錠以及使用其的濺射靶材在說明書摘要公布了：提供可獲得微粒產生少的釔濺射靶材和能夠得到釔濺射靶材的釔鑄錠；所述釔濺射靶材的耐等離子體性高且可得到能夠實現(xiàn)高成膜速度的低電阻。一種釔鑄錠，其特征在于，以氟原子計的含量為10wt％以下，制成靶材時的濺射面的表面粗糙度為10nm以上且2μm以下，釔鑄錠內的直徑100μm以上的孔隙數為0.1個cm2以下，相對密度為96％以上。
本發(fā)明授權釔鑄錠以及使用其的濺射靶材在權利要求書中公布了：1.一種釔鑄錠，其特征在于，以氟原子計的含量為0.05wt%以上且10wt%以下，制成靶材時的濺射面的表面粗糙度為10nm以上且2μm以下，釔鑄錠內的直徑100μm以上的孔隙數為0.1個cm2以下，相對密度為96%以上。
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