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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML控股股份有限公司申請(qǐng)的專利用于感測對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115023664B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180011935.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F9/00；該發(fā)明授權(quán)用于感測對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的設(shè)備是由K·肖梅;J·L·克勒澤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-21向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于感測對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的設(shè)備在說明書摘要公布了：用于感測多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的設(shè)備和方法，其中檢測器的光軸被分成多個(gè)軸線，每個(gè)軸線可以實(shí)質(zhì)上同時(shí)檢測單獨(dú)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以產(chǎn)生可以隨后被復(fù)用并且被呈現(xiàn)給單個(gè)檢測器或多個(gè)檢測器的信號(hào)，因而允許更快速地檢測多個(gè)標(biāo)記。

本發(fā)明授權(quán)用于感測對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于感測多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的設(shè)備，所述設(shè)備包括：照射系統(tǒng)，所述照射系統(tǒng)被布置成提供多個(gè)光束以照射所述多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記中的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；衍射光收集光學(xué)系統(tǒng)，所述衍射光收集光學(xué)系統(tǒng)被布置成收集來自從所述多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記中的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記衍射的多個(gè)衍射光束的衍射光；干涉儀，所述干涉儀被布置成接收由所述衍射光收集光學(xué)系統(tǒng)收集的所述衍射光并且被配置成基于所述衍射光來產(chǎn)生光學(xué)輸出；以及檢測系統(tǒng)，所述檢測系統(tǒng)被布置成接收所述光學(xué)輸出并且被配置成基于所述光學(xué)輸出來產(chǎn)生電信號(hào)；所述設(shè)備還包括：用于引起所述多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述衍射光收集光學(xué)系統(tǒng)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的裝置；和解復(fù)用器，所述解復(fù)用器被配置成基于由所述檢測系統(tǒng)接收到所述電信號(hào)的計(jì)時(shí)來解復(fù)用由所述多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記衍射的光。

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