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龍圖騰網恭喜中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種平板式PECVD設備反應腔室特氣耦合輸送裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111748795B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201910250504.1，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權一種平板式PECVD設備反應腔室特氣耦合輸送裝置是由楊彬;陳特超;陳國欽;唐電;蘇衛中;楊勇設計研發完成，并于2019-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種平板式PECVD設備反應腔室特氣耦合輸送裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種平板式PECVD設備反應腔室特氣耦合輸送裝置，包括位于反應腔室上蓋上的上送氣座、位于反應腔室內的下送氣座、以及位于上送氣座和下送氣座之間的過渡座，上送氣座上設有多個上送氣接頭，過渡座上設有多個過渡通道，所述下送氣座上設有多個下送氣接頭，各上送氣接頭下端與各所述過渡通道的上端一一對應布置，各下送氣接頭上端一一對應地伸入各所述過渡通道的下端，所述過渡座上端于各所述過渡通道外周分別設有第一密封圈，過渡座上端邊緣設有包括所有第一密封圈在內的第二密封圈。本發明可將氣體從固定不動的下反應腔室安全地引入到鉸鏈式翻蓋結構的活動上蓋的噴氣口，本發明具有結構簡單、可靠性好、不易出現氣體泄漏等優點。

本發明授權一種平板式PECVD設備反應腔室特氣耦合輸送裝置在權利要求書中公布了：1.一種平板式PECVD設備反應腔室特氣耦合輸送裝置，用于將氣體從固定不動的下反應腔室引入到活動的反應腔室上蓋，其特征在于：包括位于反應腔室上蓋上的上送氣座（1）、位于反應腔室內的下送氣座（2）、以及位于上送氣座（1）和下送氣座（2）之間的過渡座（3），所述上送氣座（1）上設有多個上送氣接頭（11），所述過渡座（3）上設有多個過渡通道（31），所述下送氣座（2）上設有多個下送氣接頭（21），各所述上送氣接頭（11）下端與各所述過渡通道（31）的上端一一對應布置，各所述下送氣接頭（21）上端一一對應地伸入各所述過渡通道（31）的下端，所述過渡座（3）上端于各所述過渡通道（31）外周分別設有第一密封圈（33），過渡座（3）上端邊緣設有包括所有第一密封圈（33）在內的第二密封圈（32），所述下送氣接頭（21）外周套設有彈性件（23），所述彈性件（23）上端與所述過渡座（3）抵接，彈性件（23）下端與所述下送氣座（2）抵接以使得過渡座（3）可以上下運動；所述過渡座（3）內設有抽真空通道（34），所述抽真空通道（34）的進氣口位于所述第一密封圈（33）和第二密封圈（32）之間，且出氣口連接有抽真空泵；所述下送氣接頭（21）上端設有至少一個第三密封圈（22）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第四十八研究所，其通訊地址為：410111 湖南省長沙市天心區新開鋪路1025號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。