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龍圖騰網(wǎng)恭喜江蘇魯汶儀器股份有限公司申請(qǐng)的專利一種用于干法去膠后清除殘膠的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115332067B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110505739.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/311；該發(fā)明授權(quán)一種用于干法去膠后清除殘膠的方法是由葉聯(lián);彭泰彥;車東晨;陳兆超;胡冬冬;許開(kāi)東設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種用于干法去膠后清除殘膠的方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種用于干法去膠后清除殘膠的方法，采用在晶圓與熱臺(tái)不接觸結(jié)合接觸PinUp結(jié)合Pindown模式的方式，優(yōu)化了工藝過(guò)程，開(kāi)始時(shí)向刻蝕腔體內(nèi)通入水和氧氣不加上射頻來(lái)起到軟化膠的作用，之后向刻蝕腔體內(nèi)通入水同時(shí)啟動(dòng)微波源，射頻功率會(huì)影響膠的軟化效果，最后關(guān)閉微波源，繼續(xù)向刻蝕腔體內(nèi)通入水、氧氣和氮?dú)猓貜?fù)操作，即可完成去膠。本發(fā)明能夠在大規(guī)模集成電路工業(yè)制造環(huán)境下應(yīng)用，是通過(guò)改變干法去膠過(guò)程中晶圓與熱臺(tái)的接觸在微波源射頻功率作用下去膠，以及晶圓與熱臺(tái)不接觸模式無(wú)射頻功率軟化膠，和制造過(guò)程中的優(yōu)化方法。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，晶圓表面殘膠被完全去除干凈，效果相當(dāng)明顯。

本發(fā)明授權(quán)一種用于干法去膠后清除殘膠的方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于干法去膠后清除殘膠的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1）將晶圓放置于刻蝕腔體內(nèi)；步驟2）頂針自熱臺(tái)內(nèi)升出并頂起所述晶圓，以使所述熱臺(tái)和所述晶圓在上下方向上間隔開(kāi)；步驟3）先后向所述刻蝕腔體內(nèi)通入氧氣和水，以對(duì)光刻膠的表層部分進(jìn)行軟化；步驟4）所述頂針自所述晶圓底部下降至所述熱臺(tái)內(nèi)，以使所述晶圓抵接在所述熱臺(tái)上，向所述刻蝕腔體內(nèi)通入水并同時(shí)啟動(dòng)微波源；所述微波源的射頻頻率為2.45GHz；步驟5）反應(yīng)結(jié)束后，關(guān)閉所述微波源，繼續(xù)向所述刻蝕腔體內(nèi)通入水，并同時(shí)通入氧氣和氮?dú)猓M(jìn)行去膠操作。

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