恭喜上海昶火微電子科技有限公司謝超偉獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜上海昶火微電子科技有限公司申請的專利PECVD自動化搬運系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222705474U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420193433.2，技術領域涉及：H01L21/677；該實用新型PECVD自動化搬運系統是由謝超偉;潘吉;殷智俊設計研發完成，并于2024-01-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本PECVD自動化搬運系統在說明書摘要公布了：本實用新型公開了PECVD自動化搬運系統，包括托盤搬運單元、龍門布片單元和翻片單元，所述托盤搬運單元由左、中、右三個機構組成，且由中間向著兩側輸送托盤，所述龍門布片單元由硅片輸送機構組成，且從左向右順時針輸送硅片，所述翻片單元與發片單元均與龍門布片單元銜接，所述發片單元與龍門布片單元的頂升高度相同，所述花籃移載單元和花籃輸送單元銜接，所述花籃輸送單元輸送的花籃被花籃移載單元內輸送軌道接住。本實用新型通過設置多個自動化搬運單元，節約人力資源，多個單元之間的自動化是輸送，以及與機械臂的智能拿取的高效配合，使得多種狀態的載板和托盤能夠放在同一貨架上，軟件能識別狀態，智能抓取，大大提高效率。
本實用新型PECVD自動化搬運系統在權利要求書中公布了：1.PECVD自動化搬運系統，包括托盤搬運單元1、龍門布片單元2和翻片單元3，以及花籃移載單元5和花籃輸送單元6，其特征在于：所述托盤搬運單元1由左、中、右三個機構組成，且由中間向著兩側輸送托盤，所述龍門布片單元2由硅片輸送機構組成，且從左向右順時針輸送硅片，所述翻片單元3與發片單元4均與龍門布片單元2銜接，所述發片單元4與龍門布片單元2的頂升高度相同，所述花籃移載單元5和花籃輸送單元6銜接，所述花籃輸送單元6輸送的花籃被花籃移載單元5內輸送軌道接住。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海昶火微電子科技有限公司，其通訊地址為：201306 上海市松江區佘山鎮環山路2號5棟102室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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