恭喜ASML荷蘭有限公司W·T·特爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利用于確定視場設定的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114514476B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080070675.7，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權用于確定視場設定的方法是由W·T·特爾;H·A·迪倫;科恩·蒂斯;洛朗·米歇爾·馬塞爾·德普雷;C·普倫蒂斯設計研發完成，并于2020-09-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于確定視場設定的方法在說明書摘要公布了：本文中披露一種確定用于具有可配置的視場FOV的檢查工具的視場設定的方法，該方法包括：獲得襯底的至少一部分上的特征的工藝裕度分布；獲得閾值；依賴于所獲得的工藝裕度分布和閾值來識別襯底的至少一部分上的一個或更多個區；以及依賴于識別的所述一個或更多個區來確定視場設定。
本發明授權用于確定視場設定的方法在權利要求書中公布了：1.一種確定用于具有可配置的視場FOV的檢查工具的視場設定的方法，所述方法包括：獲得襯底的至少一部分上的特征的工藝裕度分布；獲得閾值；依賴于所獲得的工藝裕度分布和所述閾值來識別所述襯底的至少一部分上的一個或更多個區；以及依賴于識別的所述一個或更多個區來確定視場設定。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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