恭喜福建兆元光電有限公司馬野獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜福建兆元光電有限公司申請的專利一種修補石墨盤的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116535228B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310315256.0,技術領域涉及:C04B37/00;該發明授權一種修補石墨盤的方法是由馬野;宋水燕;陳靈燕;宋振雄;魏守進;劉恒山設計研發完成,并于2023-03-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種修補石墨盤的方法在說明書摘要公布了:本發明涉及外延片生長設備技術領域,具體涉及一種修補石墨盤的方法。該修補石墨盤的方法,包括以下步驟:石墨盤的破損處清潔后進行挖孔處理得到柱形的孔洞,清潔孔洞并將氮化硅SiN材料切割成與孔洞形狀相同的修補塊,將修補塊放入孔洞中并注入助燒劑,在1000~2000℃下燒結12~15h。該方法使用氮化硅修補塊修補石墨盤,在不影響石墨盤性能的情況下極大地減少了成本,且與常規石墨修補對比,采用本發明的方法修補后的石墨盤耐久性更好,抗氧化溫度更高。
本發明授權一種修補石墨盤的方法在權利要求書中公布了:1.一種修補石墨盤的方法,其特征在于,包括以下步驟:石墨盤的破損處清潔后進行挖孔處理得到柱形的孔洞,清潔孔洞并將氮化硅材料切割成與孔洞形狀相同的修補塊,將修補塊放入孔洞中并采用質量比為1:1的純硅粉末和氮化硅粉末注滿修補塊與孔洞之間的間隙,在1000~2000℃下燒結12~15h。
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