恭喜天工方案公司高野敦獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)恭喜天工方案公司申請的專利體聲波部件及等離子體切割該體聲波部件的方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN111082769B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-06-17發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:201910988382.6,技術領域涉及:H03H3/02;該發(fā)明授權體聲波部件及等離子體切割該體聲波部件的方法是由高野敦;古澤健;古澤光弘設計研發(fā)完成,并于2019-10-17向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本體聲波部件及等離子體切割該體聲波部件的方法在說明書摘要公布了:本公開的多個方面涉及制造體聲波部件的方法。這樣的方法包括等離子體切割以將單個體聲波部件單片化??稍隗w聲波部件的基板上方形成緩沖層,使得街區(qū)被外露??裳刂饴督謪^(qū)對體聲波部件進行等離子體切割,從而將體聲波部件單片化。公開了相關的體聲波部件。
本發(fā)明授權體聲波部件及等離子體切割該體聲波部件的方法在權利要求書中公布了:1.一種制造單片化體聲波部件的方法,所述方法包括: 在體聲波部件的陣列的基板上方形成緩沖層,以便在各個體聲波部件之間形成外露街區(qū),所述基板是硅基板;以及 沿著所述外露街區(qū)等離子體切割所述體聲波部件,以從而將所述體聲波部件單片化,所述緩沖層具有在所述等離子體切割期間比硅蝕刻速率至少慢30倍的蝕刻速率。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人天工方案公司,其通訊地址為:美國馬薩諸塞州;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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