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恭喜長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司陽(yáng)涵獲國(guó)家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利三維存儲(chǔ)器、三維存儲(chǔ)器的制作方法及存儲(chǔ)系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114388530B

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202210061913.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B43/35;該發(fā)明授權(quán)三維存儲(chǔ)器、三維存儲(chǔ)器的制作方法及存儲(chǔ)系統(tǒng)是由陽(yáng)涵;徐文祥;張磊;周文斌;霍宗亮;方秦設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-01-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

三維存儲(chǔ)器、三維存儲(chǔ)器的制作方法及存儲(chǔ)系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明涉及一種三維存儲(chǔ)器、三維存儲(chǔ)器的制作方法及存儲(chǔ)系統(tǒng),該三維存儲(chǔ)器的制作方法包括:在襯底上形成堆疊結(jié)構(gòu),堆疊結(jié)構(gòu)包括多個(gè)堆疊區(qū)域以及在第一方向上位于相鄰堆疊區(qū)域之間的柵線縫隙區(qū);形成貫穿堆疊區(qū)域中的堆疊結(jié)構(gòu)的多個(gè)溝道孔、以及貫穿柵線縫隙區(qū)中的堆疊結(jié)構(gòu)的多個(gè)虛擬溝道孔;形成貫穿柵線縫隙區(qū)中的堆疊結(jié)構(gòu)的柵線狹縫,以去除多個(gè)虛擬溝道孔并將相鄰堆疊區(qū)域中的堆疊結(jié)構(gòu)分隔開(kāi),從而在堆疊區(qū)域中刻蝕形成溝道孔的過(guò)程中,能夠避免由于柵線縫隙區(qū)形成的刻蝕材料易在靠近柵線縫隙區(qū)的溝道孔中堆積,而導(dǎo)致靠近柵線縫隙區(qū)的溝道孔刻蝕不足的問(wèn)題,以提高最終形成的三維存儲(chǔ)器的性能。

本發(fā)明授權(quán)三維存儲(chǔ)器、三維存儲(chǔ)器的制作方法及存儲(chǔ)系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種三維存儲(chǔ)器的制作方法,其特征在于,包括:在襯底上形成堆疊結(jié)構(gòu),所述堆疊結(jié)構(gòu)包括多個(gè)堆疊區(qū)域以及在第一方向上位于相鄰所述堆疊區(qū)域之間的柵線縫隙區(qū);形成貫穿所述堆疊區(qū)域中的所述堆疊結(jié)構(gòu)的多個(gè)溝道孔、以及在形成所述多個(gè)溝道孔的過(guò)程中形成貫穿所述柵線縫隙區(qū)中的所述堆疊結(jié)構(gòu)的多個(gè)虛擬溝道孔;形成貫穿所述柵線縫隙區(qū)中的所述堆疊結(jié)構(gòu)的柵線狹縫,以去除所述多個(gè)虛擬溝道孔并將相鄰所述堆疊區(qū)域中的所述堆疊結(jié)構(gòu)分隔開(kāi)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司,其通訊地址為:430205 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)未來(lái)三路88號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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