恭喜捷普有限公司J·鮑斯布姆獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜捷普有限公司申請的專利用于提供預對準器的裝置、系統和方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110634787B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910548335.X,技術領域涉及:H01L21/683;該發明授權用于提供預對準器的裝置、系統和方法是由J·鮑斯布姆;B·納德力;G·科瓦契夫;P·拉希米;K·K·于設計研發完成,并于2019-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于提供預對準器的裝置、系統和方法在說明書摘要公布了:本公開提供了一種用于提供預對準器的裝置、系統和方法。所述預對準器可以能夠容納不同尺寸的半導體晶片,并且可以包括:晶片支撐件;支承臂,所述支承臂能夠與至少一個機器人元件連接,并且在支承臂一端至少部分地支承所述晶片支撐件;所述晶片支撐件上的多個伯努利墊,用于在所述晶片支撐件和一個半導體晶片之間提供連接,其中所述連接之間包括間隙。
本發明授權用于提供預對準器的裝置、系統和方法在權利要求書中公布了:1.一種能夠容納不同尺寸的半導體晶片的預對準器,預對準器包括:晶片支撐件,所述晶片支撐件包括叉子;支承臂,所述支承臂能夠與至少一個機器人元件連接,并且在支承臂一端至少部分地支承所述晶片支撐件;和多個伯努利墊,所述多個伯努利墊設置在所述叉子上,用于在所述晶片支撐件和一個半導體晶片之間提供連接,其中所述連接包括間隙,其中,預對準器還包括在所述叉子的下側上的模塊化特征,所述模塊化特征適于向遠側擴展和收縮所述叉子,其中,預對準器還包括用于索引連接的半導體晶片的晶片索引器,所述晶片索引器包括至少一個索引驅動器,以及與所述索引驅動器相關聯的至少一個索引滑塊,所述索引滑塊能夠改變連接的半導體晶片相對于所述晶片索引器的位置,所述索引驅動器能夠在多個軸線上移動。
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