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恭喜天合光能股份有限公司徐銳獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜天合光能股份有限公司申請的專利一種垂直型ALD設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222886756U

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202421314028.8,技術領域涉及:C23C16/455;該實用新型一種垂直型ALD設備是由徐銳設計研發完成,并于2024-06-11向國家知識產權局提交的專利申請。

一種垂直型ALD設備在說明書摘要公布了:本實用新型提供一種垂直型ALD設備,包括:內腔、多個裝載裝置和多個工藝裝置;物料設置于所述裝載裝置上,所述多個裝載裝置間隔設置于所述內腔的側壁中,所述裝載裝置用于帶動所述物料沿軸向方向移動。通過在內腔的側壁中設置多個可上下移動的裝載裝置,帶動放置在裝載裝置上的多個電池片進行上下移動,充分利用了上方的空間,減小了ALD設備的橫向占地面積。且橫向設置的多個裝載裝置上均能放置多個電池片,多個工藝裝置依次對上下移動的多個電池片進行吹掃,實現批量電池片的ALD工藝操作,提高了電池片的產能。

本實用新型一種垂直型ALD設備在權利要求書中公布了:1.一種垂直型ALD設備,其特征在于,包括:內腔、多個裝載裝置和多個工藝裝置;物料分別設置于所述多個裝載裝置上,所述多個裝載裝置間隔設置于所述內腔的側壁中,所述裝載裝置用于帶動所述物料繞水平方向旋轉移動;所述多個工藝裝置間隔設置于所述內腔的側壁中,用于對所述物料進行工藝操作;還包括:多個連接通道和多個傳送裝置;兩兩所述內腔之間設有所述連接通道,所述傳送裝置設置于所述連接通道內;所述裝載裝置的一端能夠與所述傳送裝置一端相接觸,所述物料通過所述傳送裝置自其中一個內腔轉移至另一個內腔中。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人天合光能股份有限公司,其通訊地址為:213022 江蘇省常州市新北區天合光伏產業園天合路2號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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