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龍圖騰網(wǎng)恭喜安徽國(guó)芯光刻技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種光刻機(jī)硅片臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119511649B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510071812.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)硅片臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)是由薛業(yè)保;章廣飛;王運(yùn)鋼;李文靜設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種光刻機(jī)硅片臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻機(jī)硅片臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，包括可沿著矩形路徑往復(fù)移動(dòng)的兩組硅片載臺(tái)，每組均由兩個(gè)橫向分布的硅片載臺(tái)構(gòu)成，四塊硅片載臺(tái)呈田字形排布，初始狀態(tài)下，四塊硅片載臺(tái)中位于右上角的硅片載臺(tái)正對(duì)于光刻機(jī)的加工工位。還包括有兩個(gè)換料單元，初始狀態(tài)下，兩組硅片載臺(tái)的其中一組位于加工路徑上，另一組位于其中一條換料路徑上。本發(fā)明運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中，加工路徑上的加工工位可不斷對(duì)硅片載臺(tái)內(nèi)的硅片實(shí)施加工操作，換料路徑可不斷接收加工完成后的硅片載臺(tái)，換料單元可同步對(duì)加工完成后的硅片載臺(tái)實(shí)施換料操作。不影響加工操作的實(shí)施，可快速對(duì)多個(gè)硅片原料實(shí)施加工操作，提升了光刻機(jī)加工硅片的工作效率。

本發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)硅片臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種光刻機(jī)硅片臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括可沿著矩形路徑往復(fù)移動(dòng)的兩組硅片載臺(tái)（2），每組均由兩個(gè)橫向分布的硅片載臺(tái)（2）構(gòu)成，四塊硅片載臺(tái)（2）呈田字形排布，初始狀態(tài)下，四塊硅片載臺(tái)（2）中位于右上角的硅片載臺(tái)（2）正對(duì)于光刻機(jī)的加工工位；還包括有兩個(gè)換料單元，兩個(gè)換料單元與加工工位形成兩條由前至后分布的換料路徑以及位于兩條換料路徑之間的一條加工路徑，初始狀態(tài)下，兩組硅片載臺(tái)（2）的其中一組位于加工路徑上，另一組位于其中一條換料路徑上；當(dāng)兩組硅片載臺(tái)（2）同時(shí)沿著X軸方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，加工工位可依次對(duì)其中一組硅片載臺(tái)（2）實(shí)施光刻加工操作，換料單元可依次對(duì)另一組硅片載臺(tái)（2）實(shí)施換料操作，當(dāng)四個(gè)硅片載臺(tái)（2）朝向Y軸移動(dòng)時(shí)，兩塊換料操作完成的硅片載臺(tái)（2）移動(dòng)至加工路徑上，兩塊加工完成的硅片載臺(tái)（2）移動(dòng)至位于另一條換料路徑上，當(dāng)四塊硅片載臺(tái)（2）沿著矩形路徑往復(fù)移動(dòng)時(shí)，四塊硅片載臺(tái)（2）上始終有兩塊硅片載臺(tái)（2）位于加工路徑上，另外兩塊硅片載臺(tái)（2）位于換料路徑上；所述換料單元均包括有呈L形的換料臂（7），所述換料臂（7）垂直分布的兩條臂體上均設(shè)有吸盤(pán)（8），且換料臂（7）的兩側(cè)分別設(shè)有儲(chǔ)存架（5）和換料架（6），所述換料臂（7）的其中一個(gè)臂體位于硅片載臺(tái)（2）的正上方，另一臂體位于換料架（6）的正上方，當(dāng)所述換料臂（7）轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，兩個(gè)吸盤(pán)（8）可將原本位于換料架（6）內(nèi)部的硅片轉(zhuǎn)移至硅片載臺(tái)（2）內(nèi)部，同時(shí)將硅片載臺(tái)（2）內(nèi)部的硅片轉(zhuǎn)移至儲(chǔ)存架（5）內(nèi)部；所述換料單元還包括有設(shè)于換料臂（7）折彎位置的電動(dòng)旋轉(zhuǎn)座（71），所述電動(dòng)旋轉(zhuǎn)座（71）上設(shè)有位于換料臂（7）正下方的安裝板，所述安裝板上設(shè)有氣缸（72），所述氣缸（72）輸出端的推桿與換料臂（7）相連，當(dāng)換料臂（7）升、降運(yùn)動(dòng)時(shí)，位于硅片載臺(tái)（2）和換料架（6）正上方的吸盤(pán)（8）同步運(yùn)動(dòng)，直至與硅片相接觸。

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