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龍圖騰網恭喜上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利對準裝置、光刻機以及對準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114690595B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011625887.5，技術領域涉及：G03F9/00；該發明授權對準裝置、光刻機以及對準方法是由邢奕飛;高安;孫建超設計研發完成，并于2020-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本對準裝置、光刻機以及對準方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種對準裝置、光刻機以及對準方法。光照單元提供的光照經一光柵標記后，產生衍射光。所述分光單元將所述衍射光的光場分割為至少兩個子光場。每一子光場內的衍射光對應進入一個探測鏡組，并產生干涉形成干涉光。干涉光經第一偏振分光棱鏡分為第一偏振光和第二偏振光。兩個所述探測器分別獲取第一偏振光和第二偏振光的光能量。當移動光柵標記至各探測器獲取的光能量均達到預設值時，光柵標記的所在位置為對準位置。因此，本發明利用分光單元分割出至少兩個子光場，通過探測單元實現每個子光場內衍射光的干涉，再利用多個所述探測器檢測，大大提高對準精度，且無需使用自參考干涉棱鏡，即可實現位置對準，不僅降低成本，而且操作簡單。

本發明授權對準裝置、光刻機以及對準方法在權利要求書中公布了：1.一種對準裝置，其特征在于，所述對準裝置包括：光照單元、分光單元和探測單元；所述光照單元用于提供光照；所述光照經一光柵標記后發生衍射并產生在至少一個方向上排布的衍射光，所述衍射光進入所述分光單元；所述分光單元包括至少一個分光鏡組，用于將所述衍射光的光場分割為至少兩個子光場，每一所述子光場內均包括具有第一偏振方向的衍射光和具有第二偏振方向的衍射光；所述探測單元包括至少兩個探測鏡組和至少四個探測器，每一所述探測鏡組均包括第一波片和第一偏振分光棱鏡，且每一所述探測鏡組配置有兩個所述探測器；其中，每一所述子光場內的所述衍射光對應進入一個所述探測鏡組，則所述具有第一偏振方向的衍射光和所述具有第二偏振方向的衍射光經所述第一波片透射后改變偏振方向，以在所述第一偏振方向上和所述第二偏振方向上分別發生干涉，并形成干涉光；所述干涉光進入所述第一偏振分光棱鏡，并經所述第一偏振分光棱鏡分為第一偏振光和第二偏振光；與所述探測鏡組對應的一個所述探測器獲取第一偏振光的光能量，與所述探測鏡組對應的另一個所述探測器獲取第二偏振光的光能量；當移動所述光柵標記至每一所述探測鏡組對應的各所述探測器獲取的所述光能量均達到預設值時，所述光柵標記的所在位置為對準位置。

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