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龍圖騰網恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申請的專利一種電渦流傳感器、金屬膜厚度監測系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114993157B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210561140.0，技術領域涉及：G01B7/06；該發明授權一種電渦流傳感器、金屬膜厚度監測系統及方法是由李婷;張康;李坤;崔云承;尹影;張為強;白琨設計研發完成，并于2022-05-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種電渦流傳感器、金屬膜厚度監測系統及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種電渦流傳感器、金屬膜厚度監測系統及方法，電渦流傳感器，包括：激勵模塊，包括激勵線圈、磁芯和第一電容，磁芯包括容納部、束口部和纏繞部，容納部和束口部連接以形成一放置腔，纏繞部設置在放置腔內，激勵線圈繞設于纏繞部上，束口部遠離容納部的一側的開口小于靠近容納部的一側的開口；接收模塊，包括接收線圈和第二電容，接收線圈設置于束口部遠離容納部的一側的開口處。該電渦流傳感器、金屬膜厚度監測系統及方法相較于現有技術，在晶圓邊緣處衰減區域更窄、膜厚監測更精確，有效避免因邊緣效應帶來的厚度監測數據失真，提升加工準確性，拓展了晶圓可利用區域。

本發明授權一種電渦流傳感器、金屬膜厚度監測系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種金屬膜厚度監測系統，其特征在于，包括波形發生模塊、信號采集及處理模塊、主控模塊和電渦流傳感器，所述電渦流傳感器包括激勵模塊和接收模塊；所述波形發生模塊，輸入端和所述主控模塊連接，用于輸出兩個幅值大小相等、方向相反的第一交流信號和第二交流信號；所述激勵模塊，包括磁芯以及由激勵線圈和第一電容構成的第一LC振蕩回路，所述磁芯包括容納部、束口部和纏繞部，所述容納部和束口部連接以形成一放置腔，其中，所述束口部遠離所述容納部的一側的開口和所述容納部的距離越遠，開口越小，所述纏繞部設置在所述放置腔內，所述激勵線圈繞設于所述纏繞部上，所述束口部遠離所述容納部的一側的開口小于靠近所述容納部的一側的開口，所述第一LC振蕩回路的輸入端和所述波形發生模塊的一個輸出端連接，用于接收所述第一交流信號，基于所述第一交流信號激勵被測金屬膜產生交變磁場并輸出第一輸出信號；所述接收模塊，包括由接收線圈和第二電容構成的第二LC振蕩回路，所述接收線圈設置于所述束口部遠離所述容納部的一側的開口處，所述第二電容和所述接收線圈連接以形成所述第二LC振蕩回路，所述第二LC振蕩回路的輸入端和所述波形發生模塊的另一個輸出端連接，用于接收被測金屬膜產生的交變磁場和所述第二交流信號，并基于所述第二交流信號和交變磁場輸出第二輸出信號；所述信號采集及處理模塊，一個輸入端和所述激勵模塊連接，另一個輸入端和所述接收模塊連接，用于采集所述第一輸出信號以及所述第一輸出信號與所述第二輸出信號的差值信號，并將采集的信號輸出至所述主控模塊；所述主控模塊，用于控制所述波形發生模塊輸出第一交流信號和第二交流信號，以及根據所述第一輸出信號和所述差值信號計算得到被測金屬膜厚度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區泰河三街1號2幢2層101；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。