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龍圖騰網恭喜中冶賽迪工程技術股份有限公司;中冶賽迪技術研究中心有限公司申請的專利一種金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115512875B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211247695.4，技術領域涉及：H01B5/14；該發明授權一種金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器是由馮科;張芝民;楊玉;漆銳;陳南菲;段青松;鄧惠丹;譚慶設計研發完成，并于2022-10-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器在說明書摘要公布了：本發明涉及一種金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器，屬于傳感器技術領域。傳感器包括保護層I、保護層II、導電種子層I、導電種子層II、粘結層I、粘結層II、絕緣層I、絕緣層II、傳感層和環氧樹脂。制作方法為：通過電鍍、旋涂、光刻、磁控濺射、電子束蒸發、低壓化學氣相沉積、等離子增強化學氣相沉積等工藝步驟逐層沉積粘結層、絕緣層、傳感層、阻擋層、種子層和保護層。本發明能有效保障傳感器在惡劣工業環境中的使用效果，并有助于大幅提升其使用壽命。

本發明授權一種金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器在權利要求書中公布了：1.一種金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器，其特征在于，傳感器包括保護層I（101）、保護層II（102）、導電種子層I（201）、導電種子層II（202）、粘結層I（301）、粘結層II（302）、絕緣層I、絕緣層II和傳感層；所述保護層I（101）的表面濺射有導電種子層I（201）；所述粘結層I（301）濺射在導電種子層I（201）表面；所述絕緣層I沉積在粘結層I（301）表面；所述絕緣層I包括依次沉積的氧化鋁絕緣層I（401）、氮化硅絕緣層I（402）和氧化鋁絕緣層II（403）；所述絕緣層I表面濺射有傳感層；所述傳感層為至少兩個熱電偶回路串聯以形成熱電堆；每個熱電偶回路均包括濺射在絕緣層I表面的第一傳感回路和第二傳感回路；所述第一傳感回路包括依次濺射的粘結層III（501）、金屬傳感層I（502）和粘結層IV（503）；所述第二傳感回路包括依次濺射的粘結層V（504）、金屬傳感層II（505）和粘結層VI（506）；所述絕緣層II沉積在粘結層III（501）、粘結層V（504）和氧化鋁絕緣層I（401）表面；所述絕緣層II包括依次沉積的氧化鋁絕緣層III（601）、氮化硅絕緣層II（602）和氧化鋁絕緣層IV（603）；所述粘結層II（302）濺射在氧化鋁絕緣層IV（603）表面；所述導電種子層II（202）濺射在粘結層II（302）表面；所述保護層II（102）電鍍在導電種子層II（202）之上，保護金屬嵌入式微納米薄膜熱流傳感器；氧化鋁絕緣層I（401）與氧化鋁絕緣層III（601）之間沉積有多組熱電堆回路，以實現局部區域內的多點檢測。

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