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龍圖騰網(wǎng)恭喜揚(yáng)州華鍍新材料科技有限公司申請的專利一種薄膜器件制備工藝的高均勻壓力反應(yīng)箱獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN222878077U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422394357.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/54；該實用新型一種薄膜器件制備工藝的高均勻壓力反應(yīng)箱是由齊潤澤設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-09-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種薄膜器件制備工藝的高均勻壓力反應(yīng)箱在說明書摘要公布了：本實用新型涉及薄膜器件制備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種薄膜器件制備工藝的高均勻壓力反應(yīng)箱，本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中薄膜制備過程中惰性氣體與氧氣流量不均勻?qū)е鲁赡げ粍虻膯栴}。通過箱體頂端設(shè)置的壓力監(jiān)測儀和安全閥管，確保了高壓環(huán)境下的安全性；增壓管道與外部增壓泵的連通，實現(xiàn)了對箱體內(nèi)部壓力的控制，為薄膜的制備提供了均勻的壓力環(huán)境。進(jìn)氣管上的氣流控制組件，包括驅(qū)動電機(jī)、轉(zhuǎn)鼓、分散盤和渦輪扇葉等，實現(xiàn)了對反應(yīng)箱內(nèi)部惰性氣體與氧氣流動均勻性調(diào)控，通過設(shè)置磁懸浮軸承和料臺轉(zhuǎn)盤，提高了設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，減少了磨損。

本實用新型一種薄膜器件制備工藝的高均勻壓力反應(yīng)箱在權(quán)利要求書中公布了：1.一種薄膜器件制備工藝的高均勻壓力反應(yīng)箱，包括箱體（1），所述箱體（1）頂端一側(cè)設(shè)有壓力監(jiān)測儀（2），所述壓力監(jiān)測儀（2）的檢測端伸入箱體（1）內(nèi)，箱體（1）頂端另一側(cè)連通設(shè)有安全閥管（4），箱體（1）頂端中部設(shè)有與外部增壓泵連通的增壓管道（11），所述箱體（1）一側(cè)外壁的中部設(shè)有進(jìn)氣管（12），另一側(cè)外壁的底部設(shè)有導(dǎo)氣管（13），所述導(dǎo)氣管（13）上連接有真空泵（3），其特征在于：所述進(jìn)氣管（12）上設(shè)有氣流控制組件（5）；所述氣流控制組件（5）包括驅(qū)動電機(jī)（51），所述驅(qū)動電機(jī)（51）固定安裝在箱體（1）一側(cè)的外壁上，驅(qū)動電機(jī)（51）的輸出軸貫穿且其端部固接有驅(qū)動齒輪（52），所述驅(qū)動齒輪（52）上至少嚙合連接有兩個轉(zhuǎn)鼓（53），轉(zhuǎn)鼓（53）的兩端均設(shè)有齒環(huán)，所述轉(zhuǎn)鼓（53）的一端轉(zhuǎn)動連接在進(jìn)氣管（12）伸入箱體（1）的端部，至少兩個轉(zhuǎn)鼓（53）另一端的齒環(huán)外壁上共同嚙合有分散盤（54），所述分散盤（54）的一端轉(zhuǎn)動連接有引流罩（55），另一端上轉(zhuǎn)動連接有渦輪扇葉（56），所述引流罩（55）固定安裝在箱體（1）靠近驅(qū)動電機(jī)（51）一側(cè)的內(nèi)壁上。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人揚(yáng)州華鍍新材料科技有限公司，其通訊地址為：225000 江蘇省揚(yáng)州市廣陵區(qū)沙頭鎮(zhèn)創(chuàng)業(yè)路108號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。