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龍圖騰網恭喜西湖大學光電研究院申請的專利一種調制激光束結合刻蝕制備微流道散熱芯片的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119260165B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411804403.1，技術領域涉及：B23K26/0622；該發明授權一種調制激光束結合刻蝕制備微流道散熱芯片的方法是由趙鼎;呂未;仇旻;齊利民;李春昊設計研發完成，并于2024-12-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種調制激光束結合刻蝕制備微流道散熱芯片的方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種調制激光束結合刻蝕制備微流道散熱芯片的方法，包括：控制激光光源組件輸出激光束，該激光束經過空間光調制器進行相位調制后輸出形成圖案的多條激光束，該多條激光束經過振鏡場鏡掃描系統聚焦后形成光斑對襯底玻璃進行對應圖案陣列的改性，其中改性圖案陣列與微流道結構相關；對襯底玻璃上的改性圖案陣列進行濕法刻蝕，得到微流道散熱芯片。這方法通過引入空間光調制器使用調制過的超短脈沖激光對玻璃襯底材料進行高效率誘導，來實現微流道散熱芯片的高效率制備。

本發明授權一種調制激光束結合刻蝕制備微流道散熱芯片的方法在權利要求書中公布了：1.一種調制激光束結合刻蝕制備微流道散熱芯片的方法，其特征在于，包括以下步驟：控制激光光源組件輸出超短脈沖激光束，該超短脈沖激光束經過空間光調制器進行調制后輸出形成圖案的多條超短脈沖激光束，該多條超短脈沖激光束經過振鏡場鏡掃描系統聚焦后形成光斑對襯底玻璃進行對應圖案陣列的改性，其中改性圖案陣列與微流道結構相關；其中振鏡場鏡掃描系統由振鏡和場鏡組成，通過振鏡場鏡掃描系統在襯底玻璃表面移動光斑，實現對襯底玻璃的改性，當激光聚焦于材料表面時，激光對襯底表面以下一定深度的材料都有改性作用，通過調節激光聚焦位置深度，相應調控材料改性的深度范圍，即得到微流道的不同層級和深度；具體形成外邊方形、內邊圓形的光斑圖案，通過改變入射激光的光強度分布，使激光均勻分布于外方形以內與內圓形以外形成的交叉區域，即交叉區域激光強，而中心圓形處激光強度弱，當激光聚焦處功率密度大于材料改性的激光功率閾值，焦點高度位置附近的激光功率也仍大于材料改性閾值，在激光功率密度大于改性閾值的高度范圍內，材料都被激光改性，未經激光照射的相應深度和區域材料則維持原狀態，兩者具有不同的材料特性；對襯底玻璃上的改性圖案陣列進行濕法刻蝕，得到微流道散熱芯片。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西湖大學光電研究院，其通訊地址為：311421 浙江省杭州市富陽區春江街道江南路68號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。