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龍圖騰網恭喜安徽國芯智能裝備有限公司申請的專利一種光刻機板體定位機構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119758681B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510258283.8，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種光刻機板體定位機構是由薛業保;章廣飛;王運鋼設計研發完成，并于2025-03-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種光刻機板體定位機構在說明書摘要公布了：本發明公開了一種光刻機板體定位機構，涉及光刻機技術領域，包括可朝著相反方向同步移動的掩膜對接臺和晶圓對接臺，所述掩膜對接臺、晶圓對接臺通過同一驅動單元相連，且掩膜對接臺、晶圓對接臺上分別設有掩膜載架和晶圓載架，當驅動單元控制掩膜對接臺與晶圓對接臺移動對接后，所述掩膜載架位于晶圓載架的正上方。所述掩膜對接臺上設有可控制掩膜載架升、降運動的輔助換料單元。本發明通過驅動單元的設置，可使得掩膜對接臺、晶圓對接臺同步移動，以達到快速定位上、下分布的掩膜版以及晶圓的目的。提升了掩膜對接臺和晶圓對接臺對接操作的精準度，降低對接誤差，有效保障了光刻加工的工作質量。

本發明授權一種光刻機板體定位機構在權利要求書中公布了：1.一種光刻機板體定位機構，其特征在于：包括可朝著相反方向同步移動的掩膜對接臺（1）和晶圓對接臺（2），所述掩膜對接臺（1）、晶圓對接臺（2）通過同一驅動單元相連，且掩膜對接臺（1）、晶圓對接臺（2）上分別設有掩膜載架（11）和晶圓載架（21），當驅動單元控制掩膜對接臺（1）與晶圓對接臺（2）移動對接后，所述掩膜載架（11）位于晶圓載架（21）的正上方；所述掩膜對接臺（1）上設有可控制掩膜載架（11）升、降運動的輔助換料單元，當掩膜對接臺（1）移動至初始位置時，所述輔助換料單元可控制搭載有掩膜版的掩膜載架（11）上升，直至掩膜版脫離掩膜對接臺（1）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人安徽國芯智能裝備有限公司，其通訊地址為：230051 安徽省合肥市包河經濟開發區重慶路與蘭州路交叉口中關村協同創新智匯園D3棟1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。