恭喜東京毅力科創株式會社牧哲也獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113257732B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110152066.2，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置是由牧哲也;稻益壽史設計研發完成，并于2021-02-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置在說明書摘要公布了：本發明提供使基板的定位精度提高的基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置。本公開的基板定位裝置具備保持部和旋轉機構。保持部保持基板。旋轉機構使保持部旋轉。另外，旋轉機構具備旋轉軸部、軸承部、基座部、驅動部、以及阻尼機構。旋轉軸部固定于保持部。軸承部以未接觸狀態支承旋轉軸部。基座部固定軸承部。驅動部使旋轉軸部旋轉。阻尼機構包括與基座部連接的軌道和與旋轉軸部連接的滑動件，利用在軌道與滑動件之間產生的阻力產生針對旋轉軸部與基座部之間的相對動作的阻尼力。
本發明授權基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板定位裝置，其具備：保持部，其保持基板；和旋轉機構，其使所述保持部旋轉，所述旋轉機構具備：旋轉軸部，其固定于所述保持部；軸承部，其以未接觸狀態支承所述旋轉軸部；基座部，其固定所述軸承部；驅動部，其使所述旋轉軸部旋轉；以及阻尼機構，其包括與所述基座部連接的軌道和與所述旋轉軸部連接的滑動件，該阻尼機構利用在所述軌道與所述滑動件之間產生的阻力產生針對所述旋轉軸部與所述基座部之間的相對動作的阻尼力。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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