東京毅力科創(chuàng)株式會社牧哲也獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN113257732B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202110152066.2，技術領域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置是由牧哲也;稻益壽史設計研發(fā)完成，并于2021-02-03向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供使基板的定位精度提高的基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置。本公開的基板定位裝置具備保持部和旋轉機構。保持部保持基板。旋轉機構使保持部旋轉。另外，旋轉機構具備旋轉軸部、軸承部、基座部、驅動部、以及阻尼機構。旋轉軸部固定于保持部。軸承部以未接觸狀態(tài)支承旋轉軸部。基座部固定軸承部。驅動部使旋轉軸部旋轉。阻尼機構包括與基座部連接的軌道和與旋轉軸部連接的滑動件，利用在軌道與滑動件之間產(chǎn)生的阻力產(chǎn)生針對旋轉軸部與基座部之間的相對動作的阻尼力。
本發(fā)明授權基板定位裝置、基板定位方法以及接合裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板定位裝置，其具備：保持部，其保持基板；和旋轉機構，其使所述保持部旋轉，所述旋轉機構具備：旋轉軸部，其固定于所述保持部；軸承部，其以未接觸狀態(tài)支承所述旋轉軸部；基座部，其固定所述軸承部；驅動部，其使所述旋轉軸部旋轉；以及阻尼機構，其包括與所述基座部連接的軌道和與所述旋轉軸部連接的滑動件，該阻尼機構利用在所述軌道與所述滑動件之間產(chǎn)生的阻力產(chǎn)生針對所述旋轉軸部與所述基座部之間的相對動作的阻尼力。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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