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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)申請(qǐng)的專利襯底處理裝置及襯底處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112740361B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980061522.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/027；該發(fā)明授權(quán)襯底處理裝置及襯底處理方法是由川口賢士;遠(yuǎn)藤亨;谷川纮太設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-07-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本襯底處理裝置及襯底處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種襯底處理裝置及襯底處理方法。本發(fā)明的襯底處理裝置包含：噴嘴，具有噴出口，且從所述噴出口朝向襯底噴出SPM；混合部，與所述噴出口連通；硫酸含有液供給裝置，用來將供給至所述襯底保持單元保持的襯底并從該襯底排出的液體回收，基于所回收的液體制成硫酸含有液，并將制成后的硫酸含有液供給至所述混合部；及控制裝置。而且，所述控制裝置執(zhí)行：硫酸含有液制成步驟，將供給至所述襯底并從該襯底排出的SPM回收而制成硫酸含有液；及SPM噴出步驟，通過將制成后的硫酸含有液及過氧化氫水供給至所述混合部并在所述混合部混合硫酸含有液及過氧化氫水而生成SPM，并從所述噴出口噴出所生成的SPM。

本發(fā)明授權(quán)襯底處理裝置及襯底處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，利用作為硫酸及過氧化氫水的混合液的SPM從襯底去除抗蝕劑，且包含： 襯底保持單元，保持襯底； 噴嘴，具有噴出口，且從所述噴出口朝向所述襯底保持單元保持的襯底噴出SPM； 混合部，與所述噴出口連通； 硫酸含有液供給裝置，用來將供給至所述襯底保持單元保持的襯底并從該襯底排出的液體回收，基于所回收的液體制成硫酸含有液，并將制成后的硫酸含有液供給至所述混合部； 過氧化氫水供給單元，用來將過氧化氫水供給至所述混合部；及 控制裝置，控制所述硫酸含有液供給裝置及所述過氧化氫水供給單元； 所述硫酸含有液供給裝置包含第1儲(chǔ)液部與第2儲(chǔ)液部， 所述第1儲(chǔ)液部包含： 第1槽，貯存所回收的液體；及 硫酸補(bǔ)充單元，用來對(duì)所述第1槽補(bǔ)充硫酸； 所述第2儲(chǔ)液部包含： 第2槽，貯存從所述第1槽輸送來的液體； 第1配管，兩端連接于所述第2槽，供貯存在所述第2槽的液體循環(huán)；及 第1加熱器，用來將沿所述第2槽及所述第1配管循環(huán)的液體加熱； 所述第1儲(chǔ)液部還包含： 第2配管，兩端連接于所述第1槽，供貯存在所述第1槽的硫酸含有液循環(huán)；及 第2加熱器，將沿所述第1槽及所述第2配管循環(huán)的硫酸含有液加熱； 所述控制裝置執(zhí)行： 硫酸含有液制成步驟，將供給至所述襯底并從該襯底排出的SPM回收而制成硫酸含有液；及 SPM噴出步驟，通過將制成后的硫酸含有液及過氧化氫水供給至所述混合部并在所述混合部混合硫酸含有液及過氧化氫水而生成SPM，并從所述噴出口噴出所生成的SPM， 所述控制裝置在所述硫酸含有液制成步驟中執(zhí)行： 第1貯存步驟，將從所述襯底排出的SPM回收，并作為硫酸含有液貯存在所述第1槽； 硫酸補(bǔ)充步驟，通過所述硫酸補(bǔ)充單元對(duì)所述第1槽補(bǔ)充硫酸； 第2貯存步驟，將從所述第1槽輸送來的硫酸含有液貯存在所述第2槽； 第1加熱步驟，通過所述第1加熱器加熱沿所述第2槽及所述第1配管循環(huán)的硫酸含有液；及 第2加熱步驟，通過所述第2加熱器加熱沿所述第1槽及所述第2配管循環(huán)的硫酸含有液；且 所述控制裝置在所述SPM噴出步驟中執(zhí)行將沿所述第2槽及所述第1配管循環(huán)的硫酸含有液供給至所述混合部的步驟。

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