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龍圖騰網(wǎng)恭喜山東大學(xué)申請(qǐng)的專利高分辨率位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115325943B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210994259.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/02；該發(fā)明授權(quán)高分辨率位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法是由劉維新;武中臣;賀鵬志;王晴;仲亦凡設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-08-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本高分辨率位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提出一種高分辨率位移測(cè)量裝置和測(cè)量方法。在楔形玻璃片移動(dòng)過程中，通過高頻光電探測(cè)器測(cè)量激光雙縱模的頻率變化；通過分光棱鏡對(duì)雙縱模進(jìn)行分光處理，通過光電探測(cè)器一和光電探測(cè)器二分別測(cè)量光束一和光束二的光強(qiáng)，基于光強(qiáng)變化的正負(fù)值，以及頻率變化值，計(jì)算與楔形玻璃片相連的運(yùn)動(dòng)目標(biāo)位移。該裝置和方法將激光振蕩縱模的頻差與目標(biāo)的位移關(guān)聯(lián)起來，可充分利用頻率測(cè)量的高精度和高分辨率，使得位移測(cè)量達(dá)到亞納米的高分辨率，有利于應(yīng)用到微位移測(cè)量領(lǐng)域。

本發(fā)明授權(quán)高分辨率位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法在權(quán)利要求書中公布了：1.高分辨率位移測(cè)量方法，其特征在于，所述測(cè)量方法基于高分辨率位移測(cè)量裝置實(shí)現(xiàn)，所述測(cè)量裝置包括：激光增益管：其第一端設(shè)置有固定反射鏡，第二端設(shè)置有增透窗片；獨(dú)立反射鏡：設(shè)置在增益管第二端側(cè)，位于增透窗片的外側(cè)，與激光增益管和固定反射鏡組合發(fā)射雙縱模振蕩激光；楔形玻璃片：設(shè)置在獨(dú)立反射鏡與增透窗片之間，其位于光路上的兩表面中一個(gè)表面與激光軸線垂直，另一表面與激光軸線傾斜；分光鏡：設(shè)置在固定反射鏡的外側(cè)；偏振片：設(shè)置在分光鏡的反射光路一側(cè)；高頻光電探測(cè)器：設(shè)置在偏振片的光線輸出端，用于接收兩縱模的拍頻信號(hào)；頻率計(jì)：接入高頻光電探測(cè)器輸出的電信號(hào)，以測(cè)量?jī)煽v模的頻差；分光棱鏡：設(shè)置在分光鏡的透射光路一側(cè)，用于將兩縱模按正交偏振態(tài)分為光束一和光束二；光電探測(cè)器：包括第一光電探測(cè)器和第二光電探測(cè)器，分別設(shè)置在光束一的傳播光路上，以及，光束二的傳播光路上，探測(cè)兩縱模的光強(qiáng)；所述測(cè)量方法包括以下步驟：采用雙縱模激光器作為光源；移動(dòng)楔形玻璃片，測(cè)量激光輸出兩縱模的頻差，記錄兩縱模頻差的最小值Δmin和最大值Δmax，作為極值點(diǎn)記錄；測(cè)量激光輸出雙縱模光強(qiáng)I和I⊥的光強(qiáng)差的正負(fù)值：s＝signI⊥-I；測(cè)量過程中，被測(cè)目標(biāo)物和與之相連的楔形玻璃片同步位移；記錄位移開始時(shí)兩縱模激光的頻差值為Δv0，位移結(jié)束后兩縱模激光的頻差為Δv；并且位移過程中兩縱模激光頻差值第一次達(dá)到極值點(diǎn)時(shí)為Δv1，位移結(jié)束前兩縱模激光頻差值最后一次經(jīng)過極值點(diǎn)時(shí)為Δv2，位移過程中兩縱模激光頻差值經(jīng)過極值點(diǎn)的總次數(shù)為m，實(shí)時(shí)記錄兩縱模激光的光強(qiáng)I和I⊥；基于雙縱模振蕩激光的頻差和光強(qiáng)差的正負(fù)，計(jì)算被測(cè)目標(biāo)物單次位移的小數(shù)部分Δl： 其中λ為激光波長(zhǎng)；若位移過程中兩縱模的頻差值沒有達(dá)到極值點(diǎn)，則Δv1＝Δv2＝0，目標(biāo)物的位移即為ΔL＝Δl；若位移過程中兩縱模的頻差值達(dá)到極值點(diǎn)，則根據(jù)Δl的正負(fù)號(hào)判斷位移方向，計(jì)算包含整數(shù)部分的目標(biāo)物位移為: 其中，m為一整數(shù)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人山東大學(xué)，其通訊地址為：264209 山東省威海市文化西路180號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。