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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請的專利用于提供站對站的均勻性的方法和設備獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN112640077B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：201980057079.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權用于提供站對站的均勻性的方法和設備是由阿德里安·拉沃伊;普爾凱特·阿加瓦爾設計研發(fā)完成，并于2019-08-12向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本用于提供站對站的均勻性的方法和設備在說明書摘要公布了：提供了一種用于處理襯底的設備。提供第一氣體源。第一氣體歧管連接至所述第一氣體源。第二氣體歧管連接至所述第一氣體源。第一處理站具有第一氣體出口，其中所述第一氣體出口連接至所述第一氣體歧管。第二處理站具有第二氣體出口，其中所述第二氣體出口連接至所述第二氣體歧管。第一可變傳導閥沿著所述第一氣體歧管而介于所述第一氣體源和所述第一氣體出口之間。第二可變傳導閥沿著所述第二氣體歧管而介于所述第一氣體源和所述第二氣體出口之間。

本發(fā)明授權用于提供站對站的均勻性的方法和設備在權利要求書中公布了：1.一種用于處理襯底的設備，其包含：第一氣體源；第一氣體歧管，其連接至所述第一氣體源；第二氣體歧管，其連接至所述第一氣體源；具有第一氣體出口的第一處理站，其中所述第一氣體出口連接至所述第一氣體歧管；具有第二氣體出口的第二處理站，其中所述第二氣體出口連接至所述第二氣體歧管；第一可變傳導閥，其沿著所述第一氣體歧管而介于所述第一氣體源和所述第一氣體出口之間；第二可變傳導閥，其沿著所述第二氣體歧管而介于所述第一氣體源和所述第二氣體出口之間；第一混合歧管，其沿著所述第一氣體歧管而介于所述第一可變傳導閥和所述第一氣體出口之間；第二混合歧管，其沿著所述第二氣體歧管而介于所述第二可變傳導閥和所述第二氣體出口之間；第二氣體源；第三氣體歧管，其連接在所述第二氣體源和所述第一混合歧管之間；第四氣體歧管，其連接在所述第二氣體源和所述第二混合歧管之間；第三可變傳導閥，其沿著所述第三氣體歧管而連接在所述第二氣體源和所述第一混合歧管之間；第四可變傳導閥，其沿著所述第四氣體歧管而連接在所述第二氣體源和所述第二混合歧管之間；第五可變傳導閥，其介于所述第一混合歧管和所述第一氣體出口之間；以及第六可變傳導閥，其介于所述第二混合歧管和所述第二氣體出口之間。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。