恭喜原子能和輔助替代能源委員會;國立科學研究中心;格勒諾布爾阿爾卑斯大學M·馬丁獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網恭喜原子能和輔助替代能源委員會;國立科學研究中心;格勒諾布爾阿爾卑斯大學申請的專利在[111]取向硅襯底上外延附生硒化鎵(GaSe)的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112670158B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011101740.6,技術領域涉及:H01L21/02;該發明授權在[111]取向硅襯底上外延附生硒化鎵(GaSe)的方法是由M·馬丁;T·巴龍設計研發完成,并于2020-10-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本在[111]取向硅襯底上外延附生硒化鎵(GaSe)的方法在說明書摘要公布了:本發明涉及在[111]取向硅襯底上外延附生GaSe的方法,其包括:?選擇[111]取向硅襯底的步驟,所述襯底由在斜切方向上切割硅棒1而產生,所述斜切方向是三個[11?2]晶向之一,斜切角α小于或等于0.1°,所獲得的襯底的表面形成鄰位面2,鄰位面2具有多個臺面21和在兩個臺面21之間的至少一個臺階22;?鈍化步驟,其由在所述硅襯底的所述鄰位面2上沉積鎵和硒的原子雙層以形成由硅?鎵?硒Si?Ga?Se制成的鈍化的鄰位面3組成,所述鈍化的鄰位面具有多個鈍化臺面31和在兩個鈍化臺面之間的至少一個鈍化臺階32;?通過在鈍化的表面3上外延附生而形成二維GaSe層的步驟,所述形成步驟包括從每個鈍化臺階32成核的步驟,和從成核步驟中獲得的核41在所述鈍化臺面31上橫向生長的步驟。本發明還涉及利用外延附生方法獲得的結構。
本發明授權在[111]取向硅襯底上外延附生硒化鎵(GaSe)的方法在權利要求書中公布了:1.在[111]取向硅襯底上外延附生GaSe的方法,其特征在于,所述方法包括:-選擇[111]取向硅襯底的步驟,所述襯底由在斜切方向上切割硅棒1而產生,所述斜切方向是三個[11-2]晶向之一,斜切角α小于或等于0.1°,所獲得的襯底的表面形成鄰位面2,鄰位面2具有多個臺面21和在兩個臺面21之間的至少一個臺階22;-鈍化步驟,其由在所述硅襯底的所述鄰位面2上沉積鎵和硒的原子雙層以形成由硅-鎵-硒Si-Ga-Se制成的鈍化的鄰位面3組成,所述鈍化的鄰位面具有多個鈍化臺面31和在兩個鈍化臺面之間的至少一個鈍化臺階32;-通過在鈍化的鄰位面3上外延附生而形成二維GaSe層的步驟,所述形成步驟包括從每個鈍化臺階32成核的步驟,和從成核步驟中獲得的核41在所述鈍化臺面31上橫向生長的步驟。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人原子能和輔助替代能源委員會;國立科學研究中心;格勒諾布爾阿爾卑斯大學,其通訊地址為:法國巴黎;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。