恭喜朗姆研究公司拉梅什·錢德拉塞卡拉獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利利用基于TCR元件的加熱器漸進式加熱襯底的部件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112585738B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980052766.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權利用基于TCR元件的加熱器漸進式加熱襯底的部件是由拉梅什·錢德拉塞卡拉;伊斯瓦·斯里尼瓦桑設計研發完成，并于2019-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本利用基于TCR元件的加熱器漸進式加熱襯底的部件在說明書摘要公布了：一種用于襯底處理系統的加熱部件的加熱器控制系統包含N個加熱器區域，其中N為大于零的整數。所述N個加熱器區域中的每一個加熱所述襯底處理系統的部件，并且包含電阻式加熱器以及溫度傳感器，該溫度傳感器用于感測所述N個加熱器區域中的對應的加熱器區域的局部溫度。控制器被配置成：基于所述N個加熱器區域中的每一個中的所述電阻式加熱器的電阻，確定所述N個加熱器區域中的每一個的平均溫度。所述控制器基于所述N個加熱器區域中的每一個的所述平均溫度與所述局部溫度控制所述電阻式加熱器。
本發明授權利用基于TCR元件的加熱器漸進式加熱襯底的部件在權利要求書中公布了：1.一種用于加熱襯底處理系統的部件的加熱器控制系統，其包含：N個加熱器區域，其中N為大于零的整數，其中所述N個加熱器區域中的每一個加熱所述襯底處理系統的部件，并且包含：電阻式加熱器；以及布置在預計會發生溫度變化的第一位置或第二位置的溫度傳感器，其用于感測所述N個加熱器區域中的對應的加熱器區域的局部溫度；以及控制器，其被配置成：基于所述N個加熱器區域中的每一個中的所述電阻式加熱器的電阻，確定所述N個加熱器區域中的每一個的平均溫度，以及基于所述N個加熱器區域中的每一個的所述平均溫度與所述局部溫度控制所述電阻式加熱器，其中，當所述溫度傳感器布置在所述第一位置時，電阻加熱器的控制方式與當溫度傳感器布置在所述第二位置時不同。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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