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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專(zhuān)利利用基于TCR元件的加熱器漸進(jìn)式加熱襯底的部件獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112585738B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：201980052766.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)利用基于TCR元件的加熱器漸進(jìn)式加熱襯底的部件是由拉梅什·錢(qián)德拉塞卡拉;伊斯瓦·斯里尼瓦桑設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-08-05向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本利用基于TCR元件的加熱器漸進(jìn)式加熱襯底的部件在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種用于襯底處理系統(tǒng)的加熱部件的加熱器控制系統(tǒng)包含N個(gè)加熱器區(qū)域，其中N為大于零的整數(shù)。所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)加熱所述襯底處理系統(tǒng)的部件，并且包含電阻式加熱器以及溫度傳感器，該溫度傳感器用于感測(cè)所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的對(duì)應(yīng)的加熱器區(qū)域的局部溫度。控制器被配置成：基于所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)中的所述電阻式加熱器的電阻，確定所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)的平均溫度。所述控制器基于所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)的所述平均溫度與所述局部溫度控制所述電阻式加熱器。

本發(fā)明授權(quán)利用基于TCR元件的加熱器漸進(jìn)式加熱襯底的部件在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于加熱襯底處理系統(tǒng)的部件的加熱器控制系統(tǒng)，其包含：N個(gè)加熱器區(qū)域，其中N為大于零的整數(shù)，其中所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)加熱所述襯底處理系統(tǒng)的部件，并且包含：電阻式加熱器；以及布置在預(yù)計(jì)會(huì)發(fā)生溫度變化的第一位置或第二位置的溫度傳感器，其用于感測(cè)所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的對(duì)應(yīng)的加熱器區(qū)域的局部溫度；以及控制器，其被配置成：基于所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)中的所述電阻式加熱器的電阻，確定所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)的平均溫度，以及基于所述N個(gè)加熱器區(qū)域中的每一個(gè)的所述平均溫度與所述局部溫度控制所述電阻式加熱器，其中，當(dāng)所述溫度傳感器布置在所述第一位置時(shí)，電阻加熱器的控制方式與當(dāng)溫度傳感器布置在所述第二位置時(shí)不同。

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