恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司黃玉蓮獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利半導體器件和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113140512B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110083342.4，技術領域涉及：H10D84/03；該發明授權半導體器件和方法是由黃玉蓮;盧泉潓設計研發完成，并于2021-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體器件和方法在說明書摘要公布了：本公開涉及半導體器件和方法。一種方法，包括：形成在半導體襯底之上延伸的鰭；在鰭之上形成光致抗蝕劑結構；在光致抗蝕劑結構中圖案化蛇形切口圖案以形成切口掩模，其中，蛇形切口圖案在鰭之上延伸，其中，蛇形切口圖案包括交替的橋接區域和切口區域，其中，每個切口區域沿第一方向延伸，其中，每個橋接區域沿第二方向在相鄰的切口區域之間延伸，其中，第二方向相對于第一方向的正交方向在30°之內；以及使用切口掩模作為蝕刻掩模來執行蝕刻工藝。
本發明授權半導體器件和方法在權利要求書中公布了：1.一種制造半導體器件的方法，包括：形成在半導體襯底之上延伸的多個鰭；在所述多個鰭之上形成光致抗蝕劑結構；在所述光致抗蝕劑結構中圖案化蛇形切口圖案以形成切口掩模，其中，所述蛇形切口圖案在所述多個鰭之上延伸，其中，所述蛇形切口圖案包括交替的橋接區域和切口區域，其中，每個切口區域沿第一方向延伸，其中，每個橋接區域沿第二方向在相鄰的切口區域之間延伸，其中，所述第二方向相對于所述第一方向的正交方向在30°之內，并且每個橋接區域具有平行的側壁；以及使用所述切口掩模作為蝕刻掩模來執行蝕刻工藝。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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