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龍圖騰網(wǎng)恭喜松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營(yíng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利濺射裝置以及濺射方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN108203809B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201711303507.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/35；該發(fā)明授權(quán)濺射裝置以及濺射方法是由末次大輔;田邊正明;奧田晃;瀧井謙昌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2017-12-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本濺射裝置以及濺射方法在說明書摘要公布了：提供一種濺射裝置以及濺射方法，能夠穩(wěn)定地形成高品質(zhì)的膜。濺射裝置具備能夠在內(nèi)部相互對(duì)置地配置靶材和基板的真空腔、能夠與靶材電連接的直流電源、以及將從直流電源流到靶材的電流脈沖化的脈沖化單元，在真空腔內(nèi)生成等離子體從而在基板上形成薄膜，濺射裝置還具備：電流計(jì)，其對(duì)從直流電源流到脈沖化單元的電流進(jìn)行測(cè)量；電源控制器，其對(duì)直流電源進(jìn)行反饋控制，使得由電流計(jì)測(cè)量的電流值成為給定值；以及脈沖控制器，其對(duì)脈沖化單元指示與電源控制器對(duì)直流電源的控制周期錯(cuò)開的脈沖周期。

本發(fā)明授權(quán)濺射裝置以及濺射方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種濺射裝置，具備：真空腔，其能夠在內(nèi)部相互對(duì)置地配置靶材和基板；直流電源，其能夠與所述靶材電連接；以及脈沖化單元，其將從所述直流電源流到所述靶材的電流脈沖化，在所述真空腔內(nèi)生成等離子體從而在所述基板上形成薄膜，所述濺射裝置還具備：電流計(jì)，其連接在所述直流電源與所述脈沖化單元之間，對(duì)從所述直流電源流到所述脈沖化單元的電流進(jìn)行測(cè)量；電源控制器，其對(duì)所述直流電源的電壓設(shè)定值進(jìn)行反饋控制，使得由所述電流計(jì)測(cè)量的電流值成為給定值；脈沖控制器，其對(duì)所述脈沖化單元指示與所述電源控制器對(duì)所述直流電源的控制周期錯(cuò)開的脈沖周期；磁體，其配置在所述靶材的與所述基板對(duì)置的面相反側(cè)的背面；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使所述磁體相對(duì)于與所述靶材的所述背面交叉的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；以及旋轉(zhuǎn)控制器，其控制所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)控制器與所述脈沖控制器連接，能夠接受旋轉(zhuǎn)的指示值而設(shè)定為給定的旋轉(zhuǎn)速度。

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