恭喜ASMIP私人控股有限公司野澤俊久獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASMIP私人控股有限公司申請的專利具有靜電卡盤的基板處理裝置及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112992639B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011371910.2，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權具有靜電卡盤的基板處理裝置及基板處理方法是由野澤俊久設計研發完成，并于2020-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有靜電卡盤的基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：基板處理裝置的示例包括：腔室；設置在腔室內的上蓋；靜電卡盤，其包括電介質體的環形部分和嵌入該環形部分中的嵌入電極，該靜電卡盤設置在腔室內；以及等離子體單元，配置為在上蓋和靜電卡盤下方的區域中產生等離子體，其中，環形部分包括位于上蓋的緊下方的環形第一上表面和位于上蓋的緊下方并圍繞第一上表面的第二上表面，第二上表面具有高于第一上表面的高度的高度。
本發明授權具有靜電卡盤的基板處理裝置及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，包括：腔室；上蓋，所述上蓋設置在所述腔室內；靜電卡盤，所述靜電卡盤包括電介質體的環形部分和嵌入到所述環形部分中的嵌入電極，所述靜電卡盤設置在所述腔室內；以及等離子體單元，所述等離子體單元配置為在所述上蓋和所述靜電卡盤下方的區域中產生等離子體，其中，所述環形部分包括在垂直方向上位于所述上蓋下方且與之相鄰的環形第一上表面和在垂直方向上位于所述上蓋的下方且與之相鄰并圍繞所述第一上表面的第二上表面，所述第二上表面具有高于所述第一上表面的高度的高度，其中，所述上蓋的下表面包括第一下表面和圍繞所述第一下表面并且位于所述第一下表面下方的第二下表面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASMIP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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