恭喜佳能株式會社大石伸司獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜佳能株式會社申請的專利載置臺裝置、圖案形成裝置以及物品的制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113904609B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110669542.8,技術領域涉及:H02P23/14;該發明授權載置臺裝置、圖案形成裝置以及物品的制造方法是由大石伸司;茂木威史;田井將紀設計研發完成,并于2021-06-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本載置臺裝置、圖案形成裝置以及物品的制造方法在說明書摘要公布了:本發明涉及載置臺裝置、圖案形成裝置以及物品的制造方法。為了提供能夠在維持吞吐量的提高的同時抑制定位精度的降低的載置臺裝置,本發明所涉及的載置臺裝置具備:載置臺;驅動部,驅動載置臺;第1及第2放大器,分別將通過利用脈沖寬度調制控制及線性控制來放大輸入信號而得到的輸出信號輸出給驅動部;切換器,將第1及第2放大器與驅動部之間的第1及第2連接設為接通或者設為關斷;以及控制部,根據用于驅動載置臺的指令值來對輸入信號進行運算并輸出給第1及第2放大器,其中,控制部根據載置臺及驅動部的參數和指令值以使第2放大器的輸出電壓收斂于最大輸出電壓的方式決定切換器的切換條件,根據決定的切換條件來控制切換器。
本發明授權載置臺裝置、圖案形成裝置以及物品的制造方法在權利要求書中公布了:1.一種載置臺裝置,其特征在于,具備:載置臺;用于驅動該載置臺的馬達;第1放大器,將通過利用脈沖寬度調制控制來放大輸入信號而得到的輸出信號輸出給所述馬達;第2放大器,將通過利用線性控制來放大所述輸入信號而得到的輸出信號輸出給所述馬達;切換器,能夠切換所述第1放大器與所述馬達之間的連接,并且能夠切換所述第2放大器與所述馬達之間的連接;以及控制部,其中,所述控制部根據所述切換器的切換條件來控制所述切換器,所述切換器的切換條件是根據基于所述馬達的參數和與所述載置臺的驅動有關的指令值求出的所述馬達中的負載電流波形及負載電壓波形,以使所述第2放大器的輸出電壓收斂于最大輸出電壓的方式決定的,所述參數包括所述馬達的電阻值、所述馬達的電感值、所述馬達的推力常數以及所述載置臺的質量。
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