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龍圖騰網(wǎng)恭喜西實(shí)顯示高新材料(沈陽)有限公司申請(qǐng)的專利偏壓裝置及基片處理設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115376974B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211190740.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)偏壓裝置及基片處理設(shè)備是由趙成偉;鄔文波設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本偏壓裝置及基片處理設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種偏壓裝置及基片處理設(shè)備，偏壓裝置包括偏壓電源及偏壓裝置。偏壓電源設(shè)有電極。偏壓裝置用于向電連接于偏壓電源的電極，并將偏壓電源電極的電勢(shì)傳導(dǎo)至通電對(duì)象。具體地，通電對(duì)象為基片或載具。進(jìn)一步地，偏壓裝置容置于內(nèi)腔，以便于與處于處理工位的通電對(duì)象接觸。更具體地，偏壓電源具有正電極及負(fù)電極，偏壓裝置將負(fù)電極的電勢(shì)傳導(dǎo)至通電對(duì)象。活動(dòng)導(dǎo)體在彈性件的彈力作用下對(duì)輪體組件產(chǎn)生頂推，從而將輪體組件頂推至通電對(duì)象的表面，使活動(dòng)導(dǎo)體、輪體組件及通電對(duì)象表面之間保持穩(wěn)定接觸，從而能使通電對(duì)象始終作為整體電極的一部分，確保針對(duì)基片的處理工藝保持穩(wěn)定。

本發(fā)明授權(quán)偏壓裝置及基片處理設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種偏壓裝置，其特征在于，包括：第一支架，用于連接支撐部；輪體組件，活動(dòng)連接于所述第一支架并能夠沿預(yù)定方向相對(duì)所述第一支架活動(dòng)；及傳導(dǎo)組件，包括活動(dòng)導(dǎo)體、彈性件及柔性導(dǎo)體；所述活動(dòng)導(dǎo)體活動(dòng)連接于所述第一支架并能夠沿所述預(yù)定方向相對(duì)所述第一支架活動(dòng)；所述彈性件連接于所述活動(dòng)導(dǎo)體并對(duì)所述活動(dòng)導(dǎo)體產(chǎn)生彈力，以使所述活動(dòng)導(dǎo)體從背向側(cè)抵持于所述輪體組件；所述柔性導(dǎo)體連接于所述活動(dòng)導(dǎo)體；所述柔性導(dǎo)體還電連接于偏壓電源的電極；所述傳導(dǎo)組件還包括電連接于所述柔性導(dǎo)體的端帽；所述端帽連接于所述第一支架；所述第一支架包括主架體及可拆卸連接于所述主架體的鎖定件；所述主架體設(shè)有通槽，所述活動(dòng)導(dǎo)體活動(dòng)穿設(shè)于所述通槽；所述端帽容置于所述鎖定件；所述彈性件位于所述端帽和所述活動(dòng)導(dǎo)體之間。

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