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龍圖騰網(wǎng)獲悉吉林大學(xué)申請的專利利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導(dǎo)的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119270429B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411815619.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G02B6/136；該發(fā)明授權(quán)利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導(dǎo)的方法是由田振男;肖凱恒;孫洪波;陳岐岱設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導(dǎo)的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導(dǎo)的方法，屬于激光加工技術(shù)領(lǐng)域，該方法采用飛秒激光原位多次改性能精確優(yōu)化單次直寫中90o急彎波導(dǎo)存在彎曲損耗大的問題。其主要原理如下，通過控制高精度三維運(yùn)動平臺使飛秒激光聚焦在材料內(nèi)部，調(diào)節(jié)飛秒激光加工能量和激光掃描速度達(dá)到單模波導(dǎo)的制備條件；再利用飛秒激光原位多次改性調(diào)控波導(dǎo)性能，制備出不同彎曲半徑的90o低損耗急彎波導(dǎo)。原位多次改性能使材料中受激光改性的材料結(jié)構(gòu)更加致密，波導(dǎo)的芯層折射率升高，有助于抑制輻射損耗；原位多次改性也可以驅(qū)動波導(dǎo)中的雜質(zhì)離子遷移至波導(dǎo)邊界，降低雜質(zhì)離子對光的散射和吸收，降低波導(dǎo)的吸收和散射損耗。該方法的制備工藝簡單，可靠性高，簡單易實現(xiàn)。

本發(fā)明授權(quán)利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導(dǎo)的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導(dǎo)的方法，其特征在于，具體包括如下步驟：步驟一：搭建光路及樣品臺的調(diào)平，具體步驟如下：飛秒激光器出射低單脈沖能量的飛秒激光，調(diào)整角度使飛秒激光依次通過二分之一波片HWP和偏振分束器PBS器件的中心，調(diào)節(jié)第一反射鏡M1使光束通過擴(kuò)束鏡f1的中心，利用擴(kuò)束鏡將激光出射的光束擴(kuò)大；擴(kuò)束后的光束經(jīng)過第二反射鏡M2后均勻的照射在空間光調(diào)制器SLM上，經(jīng)過空間光調(diào)制器反射的光束依次通過第三反射鏡M3、第四反射鏡M4、第一凸透鏡f2及第二凸透鏡f3的中心，最后依次經(jīng)由第六反射鏡M6反射和物鏡OL聚焦后入射至樣品臺上的樣品表面，通過調(diào)整第五反射鏡M5使激光光斑成像于CCD中，并將CCD與電腦PC相連，通過電腦PC實時監(jiān)控樣品臺的調(diào)平過程；步驟二：確定原位多次改性低損耗直波導(dǎo)的加工參數(shù)，具體步驟如下：首先，調(diào)整激光在樣品中的聚焦位置，使光斑聚焦在樣品表面內(nèi)部；然后利用不同的激光單脈沖能量和掃描速度直寫制備樣品；之后，對得到的樣品端面拋光至納米級的粗糙度，并分別測試不同激光單脈沖能量和掃描速度制備的波導(dǎo)傳輸損耗，得到上述不同激光單脈沖能量和掃描速度中最低直波導(dǎo)傳輸損耗的加工參數(shù)；然后，利用得到的最低損耗直波導(dǎo)的加工參數(shù)分別加工不同改性次數(shù)下的直波導(dǎo)樣品，之后對得到的樣品端面拋光；最后，利用光學(xué)顯微鏡對不同改性次數(shù)的波導(dǎo)端面進(jìn)行表征；分別測試表征不同改性次數(shù)的直波導(dǎo)傳輸損耗和模場尺寸；根據(jù)波導(dǎo)端面的光學(xué)顯微鏡照片篩選出具有第二個明亮芯層邊界波導(dǎo)端面的改性次數(shù)；步驟三：原位多次改性制備低損耗彎曲波導(dǎo)，具體包括如下步驟：首先，采用新樣品重復(fù)步驟一的調(diào)平樣品臺操作；然后，利用步驟二中得到的低損耗直波導(dǎo)的加工參數(shù)，利用電腦控制三維移動平臺在X-Y平面上運(yùn)動，在樣品中制備出不同改性次數(shù)和彎曲半徑的90°彎曲波導(dǎo)；然后將得到的樣品端面拋光并測試其彎曲損耗；步驟一中，飛秒激光器的中心波長為1030±10nm，脈沖寬度為290fs-20ps，重復(fù)頻率為1Hz-1MHz，脈沖能量為0-5μJ，物鏡OL數(shù)值孔徑為0.75，放大倍數(shù)為40的空氣隙物鏡；待加工的樣品為25mm×25mm×7mm的硼鋁硅酸鹽玻璃；步驟二中，所述激光單脈沖能量為210-290nJ，掃描速度為5-50mms；步驟二中，原位改性次數(shù)為1-16次，波導(dǎo)傳輸損耗的測試波長為808±10nm；步驟三中，彎曲波導(dǎo)的原位改性次數(shù)為1-9次。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人吉林大學(xué)，其通訊地址為：130012 吉林省長春市朝陽區(qū)前進(jìn)大街2699號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。