恭喜吉林大學田振男獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜吉林大學申請的專利利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119270429B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411815619.8,技術領域涉及:G02B6/136;該發明授權利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導的方法是由田振男;肖凱恒;孫洪波;陳岐岱設計研發完成,并于2024-12-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導的方法在說明書摘要公布了:本發明公開了利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導的方法,屬于激光加工技術領域,該方法采用飛秒激光原位多次改性能精確優化單次直寫中90o急彎波導存在彎曲損耗大的問題。其主要原理如下,通過控制高精度三維運動平臺使飛秒激光聚焦在材料內部,調節飛秒激光加工能量和激光掃描速度達到單模波導的制備條件;再利用飛秒激光原位多次改性調控波導性能,制備出不同彎曲半徑的90o低損耗急彎波導。原位多次改性能使材料中受激光改性的材料結構更加致密,波導的芯層折射率升高,有助于抑制輻射損耗;原位多次改性也可以驅動波導中的雜質離子遷移至波導邊界,降低雜質離子對光的散射和吸收,降低波導的吸收和散射損耗。該方法的制備工藝簡單,可靠性高,簡單易實現。
本發明授權利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導的方法在權利要求書中公布了:1.利用飛秒激光原位多次改性制備低損耗急彎波導的方法,其特征在于,具體包括如下步驟:步驟一:搭建光路及樣品臺的調平,具體步驟如下:飛秒激光器出射低單脈沖能量的飛秒激光,調整角度使飛秒激光依次通過二分之一波片HWP和偏振分束器PBS器件的中心,調節第一反射鏡M1使光束通過擴束鏡f1的中心,利用擴束鏡將激光出射的光束擴大;擴束后的光束經過第二反射鏡M2后均勻的照射在空間光調制器SLM上,經過空間光調制器反射的光束依次通過第三反射鏡M3、第四反射鏡M4、第一凸透鏡f2及第二凸透鏡f3的中心,最后依次經由第六反射鏡M6反射和物鏡OL聚焦后入射至樣品臺上的樣品表面,通過調整第五反射鏡M5使激光光斑成像于CCD中,并將CCD與電腦PC相連,通過電腦PC實時監控樣品臺的調平過程;步驟二:確定原位多次改性低損耗直波導的加工參數,具體步驟如下:首先,調整激光在樣品中的聚焦位置,使光斑聚焦在樣品表面內部;然后利用不同的激光單脈沖能量和掃描速度直寫制備樣品;之后,對得到的樣品端面拋光至納米級的粗糙度,并分別測試不同激光單脈沖能量和掃描速度制備的波導傳輸損耗,得到上述不同激光單脈沖能量和掃描速度中最低直波導傳輸損耗的加工參數;然后,利用得到的最低損耗直波導的加工參數分別加工不同改性次數下的直波導樣品,之后對得到的樣品端面拋光;最后,利用光學顯微鏡對不同改性次數的波導端面進行表征;分別測試表征不同改性次數的直波導傳輸損耗和模場尺寸;根據波導端面的光學顯微鏡照片篩選出具有第二個明亮芯層邊界波導端面的改性次數;步驟三:原位多次改性制備低損耗彎曲波導,具體包括如下步驟:首先,采用新樣品重復步驟一的調平樣品臺操作;然后,利用步驟二中得到的低損耗直波導的加工參數,利用電腦控制三維移動平臺在X-Y平面上運動,在樣品中制備出不同改性次數和彎曲半徑的90°彎曲波導;然后將得到的樣品端面拋光并測試其彎曲損耗;步驟一中,飛秒激光器的中心波長為1030±10nm,脈沖寬度為290fs-20ps,重復頻率為1Hz-1MHz,脈沖能量為0-5μJ,物鏡OL數值孔徑為0.75,放大倍數為40的空氣隙物鏡;待加工的樣品為25mm×25mm×7mm的硼鋁硅酸鹽玻璃;步驟二中,所述激光單脈沖能量為210-290nJ,掃描速度為5-50mms;步驟二中,原位改性次數為1-16次,波導傳輸損耗的測試波長為808±10nm;步驟三中,彎曲波導的原位改性次數為1-9次。
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